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公开(公告)号：CN115394683A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210554340.3
申请日：2022-05-19
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元(8)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将冷却液分别向真空泵(6)及冷却单元(7)供给的分配管线(21)、和将从真空泵(6)及冷却单元(7)通过了的冷却液合流并使其向冷却源(15)返回的合流返回管线(22)。
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公开(公告)号：CN115388603A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210553685.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，其用于加热在处理腔室(2)中使用后的第2循环液；除害装置(10)，其用于对从真空泵(6)排出的处理气体进行除害；以及冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将通过除害装置(10)、真空泵(6)及冷却单元(7)后的冷却液向加热单元(8)供给的第1下游侧管线(26)、第2下游侧管线(27)及第3下游侧管线(28)。
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公开(公告)号：CN115342584A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210497796.0
申请日：2022-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
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公开(公告)号：CN112825000A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011304019.7
申请日：2020-11-19
Applicant: CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
IPC: G05D23/20
Abstract: 本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
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公开(公告)号：CN112824792A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011300996.X
申请日：2020-11-19
Applicant: CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 提供一种冷却系统，具备第一冷却装置和从第一冷却装置供给热媒的多个第二冷却装置，从而抑制冷却系统整体的功耗。冷却系统(100)包括：第一冷却装置(10)，被电力驱动以供给第一设定温度以下的第一热媒；多个第二冷却装置(40A～40C)，具有使从第一冷却装置供给的第一热媒和第二热媒之间进行热交换的热交换部(46)，并被电力驱动以供给第二设定温度以下的第三热媒，其中，第二设定温度根据时间经过而分别改变；以及设定部(70)，获得多个第二冷却装置的第二设定温度，并根据获得的多个第二设定温度可变地设定第一设定温度。
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公开(公告)号：CN100449229C
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200610169015.6
申请日：2003-09-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F25B15/00
CPC classification number: Y02A30/277 , Y02B30/62
Abstract: 本发明提供一种效率更高的、紧凑的、将60～70℃左右的温水作为热源的吸收式冷冻机。它设有：再生器(G)、冷凝器(C)、吸收器(A)、蒸发器(E)、辅助再生器(GX)和辅助吸收器(AX)，其中，由(GX)将来自上述(G)的浓溶液加热而进一步浓缩，由(AX)将来自(A)的稀溶液冷却，并且吸收来自(GX)的制冷剂蒸气，该吸收式冷冻机还具备：溶液从(A)按顺序经由(AX)、(G)、(GX)到(A)的循环路径；以及对(GX)的传热能力进行调整的机构和对(AX)的传热能力进行调整的机构中的至少一个机构。
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公开(公告)号：CN1766461A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510113595.2
申请日：2005-10-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F25B15/02 , F25B15/008 , Y02A30/277 , Y02B30/62
Abstract: 本发明提供一种吸收式热泵，其具备：蒸发器，导入第1热源并将制冷剂液蒸发成为制冷剂蒸汽；吸收器，具有被加热介质流道，将被加热介质液导入该被加热介质流道的被加热介质入口，通过由上述蒸发器产生的制冷剂蒸汽被溶液吸收时的吸收热来加热上述被加热介质液，而从被加热介质出口将蒸汽或者包含液体的蒸汽的被加热介质导出；再生器，导入第2热源，从吸收了上述制冷剂蒸汽的溶液将上述制冷剂蒸发；冷凝器，导入冷却源，将上述再生器中产生的制冷剂蒸汽导入并冷凝。
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