公开(公告)号：CN110985884A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201910921810.3

申请日：2019-09-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 斋藤政伸 ,  荒井秀夫 ,  岩崎弘一 ,  大须贺透 ,  盐川笃志

IPC: F17D1/05 ,  F17D3/01

Abstract: 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。

公开(公告)号：CN103711697A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310460434.5

申请日：2013-09-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 岩崎弘一 ,  中泽敏治 ,  吉田真也 ,  大山敦

IPC: F04C25/02 ,  F04C28/08

Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

公开(公告)号：CN114109832B

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202111445458.4

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 舞鴫惠治 ,  杉浦哲郎 ,  臼井克明 ,  畠山雅规 ,  本间知佳子 ,  大须贺透 ,  岩崎弘一 ,  林介元

IPC: F04C25/02 ,  F04C28/28 ,  F04D19/04 ,  F04D27/00

Abstract: 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。

公开(公告)号：CN114151343A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111445710.1

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 舞鴫惠治 ,  杉浦哲郎 ,  臼井克明 ,  畠山雅规 ,  本间知佳子 ,  大须贺透 ,  岩崎弘一 ,  林介元

IPC: F04C28/28 ,  G05B19/042

Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。

公开(公告)号：CN108691769B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN201810321818.1

申请日：2018-04-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 林介元 ,  岩崎弘一 ,  大须贺透 ,  石井勇次 ,  河嶌浩康 ,  岛田圣二

IPC: F04C28/06 ,  F04C25/02 ,  F04C23/02

Abstract: 本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置具备主泵和增压泵。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口。主泵的进气口与增压泵的排气口连通。开关接受用于使主泵启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。

公开(公告)号：CN110050125A

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201880004933.4

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 舞鴫惠治 ,  杉浦哲郎 ,  臼井克明 ,  畠山雅规 ,  本间知佳子 ,  大须贺透 ,  岩崎弘一 ,  林介元

IPC: F04B51/00 ,  G05B19/418

Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。

公开(公告)号：CN107237752B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201710586825.X

申请日：2013-09-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 岩崎弘一 ,  中泽敏治 ,  吉田真也 ,  大山敦

IPC: F04C23/02 ,  F04C25/02 ,  F04C28/08

Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1)，泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4)，控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。