公开(公告)号：CN118256977A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410266455.1

申请日：2021-06-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 高桥直人 ,  下村直树

IPC: C25D17/00 ,  C25D21/10

Abstract: 本发明提供一种镀覆装置，用于对基板进行镀覆，该镀覆装置具备：阳极，其配置为与上述基板对置；和中间遮罩，其在上述基板与上述阳极之间配置于上述基板侧，具有供从上述阳极向上述基板的电场通过的第1中央开口，该中间遮罩在中间遮罩的内部空间具有配置于上述第1中央开口的周围的辅助阳极，上述辅助阳极的面积为上述阳极的面积的1/5以下。

公开(公告)号：CN115708416B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202180032378.8

申请日：2021-06-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 高桥直人 ,  下村直树

IPC: C25D17/10

Abstract: 本发明提供一种镀覆装置，用于对基板进行镀覆，该镀覆装置具备：阳极，其配置为与上述基板对置；和中间遮罩，其在上述基板与上述阳极之间配置于上述基板侧，具有供从上述阳极向上述基板的电场通过的第1中央开口，该中间遮罩在中间遮罩的内部空间具有配置于上述第1中央开口的周围的辅助阳极，上述辅助阳极的面积为上述阳极的面积的1/5以下。

公开(公告)号：CN114381787A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202111162315.2

申请日：2021-09-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 下村直树 ,  长井瑞树

IPC: C25D17/00 ,  C25D21/00

Abstract: 本发明提供一种能够适当地维护粗糙电极的电镀装置。电镀装置具备：用于保持基板的基板支架、以配置于上述基板的外侧的方式支承粗糙电极的粗糙电极支承体、用于使上述基板浸渍在电镀液而实施电镀处理的电镀槽、用于维护上述粗糙电极的粗糙电极维护槽、以及构成为能够向上述电镀槽与上述粗糙电极维护槽输送上述粗糙电极支承体的输送模块。

公开(公告)号：CN110914482B

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN201880045920.1

申请日：2018-07-06

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 下村直树 ,  长井瑞树

IPC: C25D17/10 ,  H01L21/683

Abstract: 为了部分地或局部地控制针对方形基板的镀敷膜厚。本发明提供一种用于调节阳极与方形基板之间的电流的调节板。该调节板具有：主体部，该主体部具有形成供电流通过的方形开口的缘部；和可装卸的遮蔽部件，该遮蔽部件用于遮蔽方形开口的至少一部分。

公开(公告)号：CN110629273A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201910531649.9

申请日：2019-06-19

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 下村直树 ,  长井瑞树

IPC: C25D17/02 ,  C25D17/10 ,  C25D5/02 ,  C25D7/12

Abstract: 本发明提高电镀于多边形基板的膜的面内均匀性。阳极支架(13)保持阳极(12)。基板支架(30)保持多边形基板(Wf)。电镀槽(14)收容阳极支架(13)以及基板支架(30)。阳极(12)以及基板(Wf)在电镀槽(14)内，浸泡于电镀液。控制装置(17)控制在阳极(12)与基板(Wf)之间流动的电流。基板支架(30)具有沿着多边形基板(Wf)的各边配置的供电部件，具有多个包含至少一条边的边的组，在各组间至少一条边不同。控制装置(17)可以按照每个组控制对供电部件供给的电流。