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公开(公告)号：CN109417372A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780040202.0
申请日：2017-05-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 提供一种能够抑制主模下的滤波器特性、损耗的劣化并且能够抑制由高阶的横模造成的纹波的产生的弹性波装置。具备压电基板(2)和IDT电极(3)，IDT电极(3)具有第一以及第二汇流条(6a、6b)和多根第一以及第二电极指(7a、7b)，在IDT电极(3)中，交叉区域(R1)具有：中央区域(R2)，弹性波的声速相对高；以及低声速部(R3、R4)，声速被设为低于中央区域(R2)，并设置在中央区域(R2)的电极指延伸的方向上的两端部，在将由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长设为λ时，第一电极指(7a)的前端与第二汇流条(6b)之间的间隙长度(L1)、以及第二电极指(6b)的前端与第一汇流条(6a)之间的间隙长度(L2)为0.62λ以上且0.98λ以下。
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公开(公告)号：CN107710613A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680032523.1
申请日：2016-06-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
CPC classification number: H03H9/02834 , H01L41/0477 , H03H9/02559 , H03H9/02637 , H03H9/145 , H03H9/14541 , H03H9/14544 , H03H9/25 , H03H9/6483
Abstract: 本发明提供一种低损耗、频率温度特性优异且难以产生由高阶模造成的杂散的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：压电基板(2)；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及电介质层(6)，设置为覆盖IDT电极(3)，IDT电极(3)具有第一电极层和层叠在第一电极层上的第二电极层，第一电极层由密度比构成第二电极层的金属以及构成电介质层(6)的电介质高的金属或合金构成，压电基板(2)由LiNbO3构成，在压电基板(2)的欧拉角(0°±5°，θ，0°±10°)中，θ处于8°以上且32°以下的范围内。
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公开(公告)号：CN100555858C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200580007537.X
申请日：2005-03-02
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/6433 , H03H9/6466 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种表面声波分路滤波器，其中提高具有相对低的通带的第一滤波器素通带高频侧的滤波器特性的陡度和具有相对高的通带的第二滤波器的通带低频侧的滤波器特性的陡度。该表面声波分路滤波器(1)包括第一和第二滤波器(11，12)，第一和第二滤波器各自包括多个表面声波共振器以形成梯形电路结构。在第一压电基板(13)上提供通带的频率范围相对低的第一滤波器(11)，并且在第二压电基板(14)上提供通带的频率范围相对高的第二滤波器(12)。第一和第二压电基板(13，14)是旋转Y-相交X-传播LiTaO3基板。第一压电基板(13)的交角大于第二压电基板(14)的交角。
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公开(公告)号：CN119547328A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202380052897.X
申请日：2023-08-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化，并且能够降低连接于基准电位的布线的电阻。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电性基板（12），包括具有彼此相互对置的第1主面（14a）以及第2主面（14b）的压电层（14）、和层叠在压电层（14）的第2主面（14b）的支承构件；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），并且连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接的多个第2电极指（26），并且连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和基准电位电极（19），具有分别设置在压电层（14）的第1主面（14a）使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排的多个第3电极指（27）、与多个第3电极指（27）分别连接的多个连接电极、和通过多个连接电极与多个第3电极指（27）电连接的第3汇流条（24），并且连接于基准电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下是将第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）设为一个周期的顺序。第3汇流条（24）被设置为与多个第3电极指（27）至少夹着压电层（14）对置。多个连接电极通过至少贯穿压电层（14）从而将第3汇流条（24）和多个第3电极指（27）连接。
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公开(公告)号：CN110120794B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201811617295.1
申请日：2018-12-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 一种弹性波装置，利用板波S0模式，具备：支承基板；声反射层，直接或间接地层叠在支承基板上；压电体，直接或间接地层叠在声反射层上；以及IDT电极，直接或间接地设置在压电体上，在声反射层中，在低声阻抗层与高声阻抗层在层叠方向上相邻的部分中的至少一个部分，将用弹性波装置的动作频率处的在低声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的低声阻抗层的厚度设为T1，将用弹性波装置的动作频率处的在高声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的高声阻抗层的厚度设为T2，此时，T1+T2为0.40以上且0.60以下，T1/(T1+T2)为0.35以上且0.65以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110582938B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201880026037.8
申请日：2018-03-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种利用了板波S0模式且低损耗的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：压电体(5)，直接或间接地设置在支承基板(2)上，由铌酸锂构成；以及IDT电极(6)，直接或间接地设置在压电体(5)上，在将由IDT电极(6)的电极指间距决定的弹性波的波长设为λ时，压电体(5)的厚度为1λ以下，利用了在压电体(5)中传播的板波S0模式，所述铌酸锂的欧拉角为(0°±10°，θ，90°±10°)，其中，θ为0°以上且180°以下。
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公开(公告)号：CN110178307B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201880006651.8
申请日：2018-01-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，通过使第一边缘区域以及第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域，并使用了活塞模式，其中，能够有效地抑制由高阶的横模造成的杂散。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。在IDT电极(3)中依次配置有中央区域(A1)、第一低声速区域、第二低声速区域以及第一高声速区域、第二高声速区域。多个第一电极指(3a2)、第二电极指(3b2)的第一低声速区域、第二低声速区域中的占空比大于中央区域(A1)中的占空比。在将在作为主电极层的主成分的金属中传播的横波体波的声速设为v(m/s)时，v≤3299m/s，在将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，并将通过波长λ进行了归一化的主电极层的膜厚设为T时，满足T≥0.00018e0.002V+0.014。
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公开(公告)号：CN108141198B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201680059542.3
申请日：2016-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。
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公开(公告)号：CN109428564B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201810991653.9
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a～4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a～5c)，且设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b～4d)的膜厚薄；以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。
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公开(公告)号：CN110178307A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201880006651.8
申请日：2018-01-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，通过使第一边缘区域以及第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域，并使用了活塞模式，其中，能够有效地抑制由高阶的横模造成的杂散。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。在IDT电极(3)中依次配置有中央区域(A1)、第一低声速区域、第二低声速区域以及第一高声速区域、第二高声速区域。多个第一电极指(3a2)、第二电极指(3b2)的第一低声速区域、第二低声速区域中的占空比大于中央区域(A1)中的占空比。在将在作为主电极层的主成分的金属中传播的横波体波的声速设为v(m/s)时，v≤3299m/s，在将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，并将通过波长λ进行了归一化的主电极层的膜厚设为T时，满足T≥0.00018e0.002V+0.014。
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