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公开(公告)号：CN1462471A
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN01816141.3
申请日：2001-09-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70516 , G03F7/70858 , G03F9/7003
Abstract: 一种根据曝光时照明条件和投影光学系统周围的气压，可以高精度检测投影光学系统成像特性的成像特性检测方法和曝光方法。用与曝光的光波长相同的照明光从试样台(24)内部照射基准标志(34A、34B)，利用标度线对准显微镜(38A、38B)，对通过基准标志(34A、34B)的投影光学系统(PL)的像的标度线标志(37A、37B)位置偏移量进行测量，从此测量值计算出投影光学系统(PL)的投影倍数β，求出与该基准倍数β0的误差Δβ2。从求出的误差Δβ2减去对应于曝光时标度线(R)照明条件和投影光学系统(PL)周围大气压P的倍数误差的修正值Δβ1，求出曝光时实际残留倍数误差Δβ(＝Δβ2－Δβ1)。
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