阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法

    公开(公告)号:CN109952459A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201780069196.1

    申请日:2017-11-02

    Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有:阀体(10),其划分出流路(12);阀芯(20),其被设为能够开闭阀体的流路(12);操作构件(40),其用于操作阀芯,被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动;主致动器(60),其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动;以及压电致动器(100),其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

    管接头
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109477600A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780045130.9

    申请日:2017-07-25

    Abstract: 提供一种管接头,用于在超高压条件下使用,且接头的直径不会相对地变大。该管接头具备:第1及第2接头部件,其具有相互连通的流体通路;和密封垫片,其夹设在第1及第2接头部件的对接端面之间,在第1及第2接头部件的对接端面上形成有环状的密封突起,该管接头的特征在于,在将第1及第2接头部件的内径设为D1、将密封垫片的内径设为D2、将密封突起的直径设为D3、将密封垫片的外径设为D4时,以式(1)规定的系数F为0.4以下,式(1):F=(D32-D12)/(D42-D22)。

    分流阀
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108884946B

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN201880001361.4

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 主通路(11)具有两个大径部(11a、11b)以及大径部(11a、11b)之间的小径部(11c)。入口通路(12)与小径部(11c)连通,各出口通路(13、14)与各大径部(11a、11b)连通。阀芯移动机构(3)具有:供对一方的大径部(11a)与小径部(11c)之间进行开闭的第1阀芯(21)固定在其一端部上的第1阀杆(22);供对另一方的大径部(11b)与小径部(11c)之间进行开闭的第2阀芯(23)固定在其一端部上的第2阀杆(24);一端部固定在第1波纹管凸缘(29)上且另一端部固定在第1阀芯(21)上的第1波纹管(28);一端部固定在第2波纹管凸缘(33)上且另一端部固定在第2阀芯(23)上的第2波纹管(32);设在主通路11外部且与第1阀杆(22)及第2阀杆(24)连接的框体(25);和使框体(25)向第1阀芯(21)及第2阀芯(23)的开闭方向移动的致动器(26)。

    通断器
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107532741B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201680021491.5

    申请日:2016-04-05

    Abstract: 第一开闭阀(2)及第二开闭阀(3)均为二通阀。在第一通路块(5)中,形成有第一开闭阀用流入通路(11)及第一开闭阀用流出通路(12)。在第二通路块(6)中,形成有第二开闭阀用流入通路(14)及第二开闭阀用流出通路(15)。第二开闭阀用流出通路(15)通过在第一通路块(5)中形成的连通路(13)而与第一开闭阀用流出通路(12)的上游侧部分连通。在第二开闭阀用流出通路(15)与连通路(13)之间设置有孔板(20)。根据上述结构,能够防止由于流体的逆流所引起的内部污染,减少阀的更换频率。

    分流阀
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108884946A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201880001361.4

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 主通路(11)具有两个大径部(11a、11b)以及大径部(11a、11b)之间的小径部(11c)。入口通路(12)与小径部(11c)连通,各出口通路(13、14)与各大径部(11a、11b)连通。阀芯移动机构(3)具有:供对一方的大径部(11a)与小径部(11c)之间进行开闭的第1阀芯(21)固定在其一端部上的第1阀杆(22);供对另一方的大径部(11b)与小径部(11c)之间进行开闭的第2阀芯(23)固定在其一端部上的第2阀杆(24);一端部固定在第1波纹管凸缘(29)上且另一端部固定在第1阀芯(21)上的第1波纹管(28);一端部固定在第2波纹管凸缘(33)上且另一端部固定在第2阀芯(23)上的第2波纹管(32);设在主通路11外部且与第1阀杆(22)及第2阀杆(24)连接的框体(25);和使框体(25)向第1阀芯(21)及第2阀芯(23)的开闭方向移动的致动器(26)。

Patent Agency Ranking