公开(公告)号：CN102693924B

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201210060258.1

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小林纱由美 ,  浪冈保男 ,  麻柄隆 ,  山田涉

IPC: H01L21/66

Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。

公开(公告)号：CN106997505B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201610988122.5

申请日：2016-11-10

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男 ,  高桥伸昌 ,  安井英己 ,  本洼田昌也 ,  八岛优树

IPC: G06Q10/06 ,  G06Q10/10

Abstract: 本发明实施形态的分析装置具有获取部和处理部。所述获取部获取第1时刻到第2时刻的具有第1时长的第1信息。所述第1信息基于对象者的活动。所述处理部从第1信息抽取多个相似点。所述多个相似点在所述第1信息上互相相似。所述处理部算出所述多个相似点的时间间隔。

公开(公告)号：CN110826383A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201910227735.0

申请日：2019-03-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男

IPC: G06K9/00 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 提供能够更自动地分析作业且能够缩短分析所需的时间的分析系统、分析方法、程序以及存储介质。实施方式的分析系统具备取得部、处理部。上述取得部取得表示包含多个作业在内的第1工序中的作业者的动作的时序数据。上述处理部检测上述时序数据中的状态的多个变化点，使用上述多个变化点将上述时序数据与上述多个作业的各个作业之间建立对应。

公开(公告)号：CN106997505A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201610988122.5

申请日：2016-11-10

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男 ,  高桥伸昌 ,  安井英己 ,  本洼田昌也 ,  八岛优树

IPC: G06Q10/06 ,  G06Q10/10

Abstract: 本发明实施形态的分析装置具有获取部和处理部。所述获取部获取第1时刻到第2时刻的具有第1时长的第1信息。所述第1信息基于对象者的活动。所述处理部从第1信息抽取多个相似点。所述多个相似点在所述第1信息上互相相似。所述处理部算出所述多个相似点的时间间隔。

公开(公告)号：CN102693924A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210060258.1

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小林纱由美 ,  浪冈保男 ,  麻柄隆 ,  山田涉

IPC: H01L21/66

Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。

公开(公告)号：CN100533657C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200710112264.6

申请日：2007-06-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

Abstract: 提供一种根据产品的检查结果可自动地检测工厂异常的警报装置。警报装置(1)是检测工厂(102)中异常产生的装置。在工厂(102)中设置通过处理衬底来制造产品的制造装置(103)、检查装置(104)。警报装置(1)根据产品的制造过程中的衬底表面的检查结果，对按照各异常的种类设定的规定尺寸的各监视单位区域合计缺陷的产生程度，把各监视单位区域的缺陷的产生程度与基准比较，在检测到缺陷的产生程度比基准还高的监视单位区域时，发送警报，输出合计结果。

公开(公告)号：CN101097842A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710112264.6

申请日：2007-06-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

Abstract: 提供一种根据产品的检查结果可自动地检测工厂异常的警报装置。警报装置(1)是检测工厂(102)中异常产生的装置。在工厂(102)中设置通过处理衬底来制造产品的制造装置(103)、检查装置(104)。警报装置(1)根据产品的制造过程中的衬底表面的检查结果，对按照各异常的种类设定的规定尺寸的各监视单位区域合计缺陷的产生程度，把各监视单位区域的缺陷的产生程度与基准比较，在检测到缺陷的产生程度比基准还高的监视单位区域时，发送警报，输出合计结果。

公开(公告)号：CN1384454A

公开(公告)日：2002-12-11

申请号：CN02121542.1

申请日：2002-04-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 浪冈保男

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/2264

Abstract: 本发明是一种信息概括系统和信息概括方法。翻译装置(1)取得多个质量管理装置(5－1～5－n)中由彼此不同形式管理的关于制造的多个数据·信息,翻译装置(1)统合这些数据·信息后,翻译成多个质量管理装置(5－1～5－n)中共同处理的数据·信息。