氮化物半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1943084A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200580011771.X

    申请日:2005-10-13

    CPC classification number: H01L21/0254 H01S5/02

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体元件,是具备:具有上面及下面的基板(1)、和由基板(1)的上面支撑的半导体叠层构造(40),基板(1)及半导体叠层构造(40)至少具有2个解理面的氮化物半导体元件。具备与2个解理面中的任意一个相接的至少一个解理引发构件(3),解理引发构件(3)的与解理面平行的方向的尺寸小于基板(1)的上面的与解理面平行的方向的尺寸。

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