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公开(公告)号：CN100517963C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200380107526.X
申请日：2003-12-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种电子部件，以改善温度特性及电特性为目的。为了达到所述目的，本发明的电子部件具有基片(1)、设置在基片(1)上表面的梳状电极(2)和覆盖该梳状电极(2)且顶面有凹凸形状的保护膜(4)。设定各参数，使得当设保护膜(4)的凹凸形状的每组凹凸的间距宽度为L，保护膜(4)的凹凸形状的每组凹凸的凸部(4a)宽度为L1，凹部(4b)宽度为L2，梳状电极(2)的每组电极的间距宽度为p，构成梳状电极(2)的每根电极指的宽度为p1，电极指间的宽度为p2时，满足L1≤p1且L2≥p2(此时，满足L≒p、p1+p2＝p、L1+L2＝L的关系)。
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公开(公告)号：CN1914801A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200580003838.5
申请日：2005-02-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/6433
Abstract: 本发明的SAW滤波器，在压电基板(12)上连接多个由梳型电极和栅状反射器所构成的声表面波谐振元件(15～20)来构成，其中具有在上述声表面波谐振元件(15～20)当中至少一个声表面波谐振元件的表面上形成有电介质膜(14)、至少一个声表面波谐振元件的表面上未形成电介质膜(14)这种构成。由此可以获得频带内介入损耗小、陡急特性良好、而且频带宽的SAW滤波器。
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公开(公告)号：CN1190007C
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN01803197.8
申请日：2001-10-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02661 , H03H3/08 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/14541 , Y10T29/42
Abstract: 在具有基片和形成在基片上的电极的弹性表面波(SAW)滤波器中，电极具有底层、第1金属层、第2层和第3层，第1金属层由Al或者以Al为主体的金属组成、而且对基片沿一定方向取向，第2层抑制第1金属层的Al原子向对基片垂直方向的移动，第3层是为了调整膜厚。由此，在具有任意膜厚的SAW滤波器中，能够同时达到具有难于引起晶界扩散的膜质和对应力性很有效的膜的粒径的微细化。因此，在这种SAW滤波器中，能够阻止伴随SAW的传播在电极上产生的负荷引起的应力而引起的电极的Al原子的移动，因而，该滤波器具有优秀的耐电功率性。
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公开(公告)号：CN103004085A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201280002042.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/0222 , H03H9/02992 , H03H9/25 , H03H9/64 , H03H9/725
Abstract: 本发明的梯型弹性波滤波器包括在多个串联谐振器中具有最低的谐振频率的第1串联谐振器、和具有比第1串联谐振器的谐振频率高的谐振频率的第2串联谐振器，第1串联谐振器的形成区域中的电介质膜的膜厚比第2串联谐振器的形成区域中的电介质膜的膜厚厚。根据上述结构，第1串联谐振器的特性的频率温度依赖性小于第2串联谐振器的特性的频率温度依赖性。其结果，可抑制第1串联谐振器的特性的频率变动量。
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公开(公告)号：CN102948073A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201180029717.3
申请日：2011-05-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/14541 , H03H9/0222 , H03H9/02559
Abstract: 本发明提供一种弹性波元件。IDT电极从压电体侧开始依次具有以Mo为主成分的第1电极层、和设置在第1电极层上且以Al为主成分的第2电极层，IDT电极具有0.15λ以下的总膜厚，并且第1电极层具有0.05λ以上的膜厚，第2电极层具有0.025λ以上的膜厚。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101379699B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200780004607.5
申请日：2007-12-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/1452 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/02992
Abstract: 本发明提供一种因改善声表面波的横向泄漏，而寄生小且特性优良的声表面波谐振器。本发明的声表面波滤波器在压电衬底上形成有梳状电极与反射器电极，且在梳状电极与反射器电极上形成有SiO2薄膜。梳状电极包含汇流条电极区域、虚设电极区域及交叉区域，而且梳状电极的汇流条电极区域上部成为SiO2薄膜被除去的状态。
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公开(公告)号：CN102396154A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201080016666.6
申请日：2010-04-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02842 , H03H3/10 , H03H9/02834 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种弹性波元件和使用它的电子设备。该弹性波元件具有：压电体；设置在压电体的上表面上的第一和第二叉指式换能器(IDT)电极；和设置在压电体的上表面上并且覆盖第一IDT电极和第二IDT电极的第一电介质层。第二IDT电极具有比第一IDT电极的膜厚厚的膜厚。第二IDT电极的正上方的第一电介质层的第二部分的上表面距离压电体的上表面的高度，高于第一IDT电极的正上方的第一电介质层的第一部分的上表面距离压电体的上表面的高度。该弹性波元件具有良好的温度特性和电设备耦合系数。
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公开(公告)号：CN101379699A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780004607.5
申请日：2007-12-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/1452 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/02992
Abstract: 本发明提供一种因改善声表面波的横向泄漏，而寄生小且特性优良的声表面波谐振器。本发明的声表面波滤波器在压电衬底上形成有梳状电极与反射器电极，且在梳状电极与反射器电极上形成有SiO2薄膜。梳状电极包含汇流条电极区域、虚设电极区域及交叉区域，而且梳状电极的汇流条电极区域上部成为SiO2薄膜被除去的状态。
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公开(公告)号：CN1551496A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410063350.9
申请日：2001-10-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02661 , H03H3/08 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/14541 , Y10T29/42
Abstract: 一种弹性表面波滤波器的制造方法，它包含以下工程：在基片上形成具有含Al金属层的电极的工程；与所述电极同时、用溅射刻蚀法在所述电极的侧壁上形成Al扩散防止层的至少一部分的工程。
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公开(公告)号：CN1522492A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN03800554.9
申请日：2003-04-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/25 , H03H9/02559 , H03H9/02661 , H03H9/02929 , H03H9/145 , H03H9/6483
Abstract: 本发明的目的在于在表面声波谐振器或者滤波器等表面声波(SAW)器件中，使损失最小，提高陡峭性，通过在用能够激励漏泄表面声波(LSAW)的切割角切割出的压电基板上设置具有预定厚度和电极指间间距(p)的IDT电极和反射器，使所利用的SAW的音速比沿着压电基板传输的慢横波的音速(vb)还慢，而且当令谐振频率为f时满足2×p≤vb/f的关系，能够利用不发生传输损失的RSAW，与以往的LSAW类型的SAW器件相比较改善插入损失和陡峭特性。
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