公开(公告)号：CN102439405B

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201080022073.0

申请日：2010-05-26

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中西努 ,  小林康展 ,  藤田孔明

IPC: G01L1/10

CPC classification number: G01L9/0016 ,  G01L1/162

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器，具备梁状的振动体和支撑梁状的振动体的两端的固定部。另外，在梁状的振动体的中央部形成驱动元件，在两端部形成反馈元件。构成为使梁状的振动体进行固有振动，并通过检测振动体的固有振动频率来检测作用于梁状的振动体的物理量。由此，能够以稳定的状态检测作用于物体的应变和载荷等物理量。

公开(公告)号：CN1457496A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800503.1

申请日：2002-02-28

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中西努 ,  森野贵 ,  八木唯雄 ,  是近哲广

IPC: H01C1/14

CPC classification number: H01C7/003 ,  H01C1/148

Abstract: 本发明的电阻器包括：一基板、一对设置于该基板的上面的上面电极层、和一连接于该一对上面电极层的电阻膜。该上面电极层由对基板和电阻膜的粘接性好的第1上面电极薄膜层、和具有比第1上面电极薄膜层的体积电阻率低的体积电阻率的第2上面电极薄膜。又，本发明的电阻器于基板的端缘设置有一对与上面电极层电连接的侧面电极，该侧面电极具有第1侧面电极薄膜层和第2侧面电极薄膜层，并且形成该第2侧面电极薄膜层的材料具有与该第1侧面电极薄膜层固溶的固溶性。