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公开(公告)号：CN110455874A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910777866.6
申请日：2019-08-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域的一种CoSn双金属氧化物半导体材料及其制备方法。所述材料由不同摩尔比例的Co和Sn纳米颗粒组成，Co和Sn的摩尔比为0.1-10，纳米颗粒粒径为20-50nm。本发明的材料可作为气敏检测材料，对环境中甲烷、乙醇、氨气等气体进行检测，其制备简便，收率高，具有检测温度低、基线平稳、灵敏度高等诸多性能优势。
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公开(公告)号：CN117686569A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311656301.5
申请日：2023-12-05
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/406
Abstract: 本发明涉及一种柱形NOx气体传感器，该传感器自内而外依次包括：陶瓷柱基底，表面印刷有测试电极和对电极；陶瓷层，表面印刷有绝缘材料，并在端部形成通道和空腔；加热电极层，包括螺旋状加热区、供电引线和供电电极，加热电极呈螺旋状分布于检测区，并通过供电引线与供电电极相连；保护层，位于加热层外部，用于保护加热电极和整体结构。本发明中测试电极选用NOx敏感材料制作，对电极选用贵金属电极。检测时，采用贵金属加热电极对传感器加热，对测试电极和对电极加压，并检测测试电极和对电极间信号变化，确定NOx气体含量，从而达到气体检测的目的。本发明采用四线制结构，结构简单，操作简便。
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公开(公告)号：CN112760604B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN201911064779.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种在金刚石衬底上沉积高C轴取向氮化铝薄膜的方法，涉及压电薄膜制备技术领域。本发明采用射频反应磁控溅射技术，具体步骤包括真空预处理、衬底预处理、靶材预溅射、薄膜沉积，随着一次或多次沉积过程的进行，不固定可单独调节的工艺参数，而是在其原有基础上进行调整，从而控制靶材自偏压一直稳定在设定值。本发明在金刚石上沉积的氮化铝薄膜具有高C轴取向，且相较于传统方法具备较高的工艺稳定性和重复性，便于节约成本、保证薄膜性能的一致性，适用于工业大规模生产。
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公开(公告)号：CN112553575B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202011412059.3
申请日：2020-12-02
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多层复合二氧化氮气敏薄膜及其制备方法，其中薄膜包括：带有氧化层的硅基片，以及自下而上依次沉积在硅基片表面的氧化锡层、三氧化钨层、贵金属层。其制备方法是采用直流掠射角磁控溅射技术，分别以锡、钨及贵金属为靶材，依次在硅基片表面沉积氧化锡、三氧化钨、贵金属薄膜，之后将试样置于马弗炉中进行热处理。本发明制备的多层复合气敏薄膜对二氧化氮灵敏度高，能在150℃的较低温度下检测0.1ppm的二氧化氮气体，有利于实现MEMS传感器的低功耗，也具备较低的基线电阻，适用于针对MEMS器件的检测电路。同时本发明采用的制备方法便于控制气敏材料的均匀性，与MEMS工艺兼容性高，适合于工业大规模生产。
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公开(公告)号：CN112394090A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910757333.1
申请日：2019-08-15
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种二氧化氮气体传感器元件及其制备方法。该二氧化氮气体传感器元件，包括依次沉积在表面具有氧化层的硅基片上的三氧化钨薄膜、铂薄膜和金叉指电极；其中所述三氧化钨薄膜和铂薄膜分别采用掠射角磁控溅射法沉积，掠射角分别为10°～30°。本发明的二氧化氮气体传感器元件中铂/三氧化钨复合薄膜整体电阻率较低，将金叉指电极设置于铂薄膜表面也使得测试电阻进一步降低，便于元件的集成与测试。同时相较于传统粉末材料，采用掠射角磁控溅射制备的铂/三氧化钨复合薄膜均匀性好，一致性高，薄膜与基体的附着力高，可在200℃以下检测低浓度(0.1ppm)二氧化氮气体，灵敏度高，选择性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111017986A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911345065.9
申请日：2019-12-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: C01G3/02 , C01G9/02 , C01B32/184 , G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种还原氧化石墨烯-CuO/ZnO气敏材料的制备方法：将硝酸锌·六水合物和硝酸铜·三水合物加入到去离子水中得到铜锌前驱体溶液；将尿素加入至铜锌前驱体溶液；将还原氧化石墨烯分散在去离子水中，超声分散得到还原氧化石墨烯胶体溶液；将胶体溶液与前驱体溶液混合，得到的悬浮液；将悬浮液转移到聚四氟乙烯衬里高压反应釜中，将反应釜放入电炉中反应，得到还原氧化石墨烯-锌铜氢氧化碳酸盐复合物；将复合物冷却、洗涤、干燥，得到蓝灰色粉体；将粉体置于马弗炉中退火，得到气敏材料。本发明简单易行，材料低温响应性能良好，解决了传统ZnO基材料对丙酮气体选择性很差且在150℃及以下低温下没有响应的技术问题。
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公开(公告)号：CN112268938B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202011132592.4
申请日：2020-10-21
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了属于气体传感器领域的一种NOx气体传感器；其中自下而上依次包括：硅基底层、支撑层、加热电极、绝缘层、测试电极层；其中硅基底层上方的测试端一侧开有隔热腔；支撑层完全覆盖硅基底层；加热电极设置于支撑层和绝缘层之间，绝缘层用于隔离加热电极和测试电极层；所述测试电极层包括：平行排列的第二电极、第一电极和第三电极，其中第一电极、第二电极和第三电极均由电极端延伸至测试端。本发明中第一电极选用对NOx敏感材料制作，第二、第三电极采用贵金属制作，并构成三电极体系。测试时，第三电极作为参比电极，可调控第二电极极化电压；通入NOx气体后，可通过记录第一、第二电极间电流变化确定NOx含量。
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公开(公告)号：CN113588876A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110790818.8
申请日：2021-07-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明公开了属于气体传感器制备技术领域的一种提高二氧化氮半导体传感器选择性的方法，采用光刻及刻蚀工艺在硅基体上刻蚀出微型色谱柱结构，同时在色谱柱两端刻蚀出进气口与出气口，并在出气口处制备半导体传感器加热电极与测试电极，之后在色谱柱上加载固定相，在传感器电极上加载三氧化钨气敏材料，并对色谱柱及传感器进行密封。本发明利用色谱柱分离功能将空气中的二氧化氮与二氧化硫及臭氧等干扰气体分离，提高了传感器对二氧化氮的选择性。同时，将色谱柱微型化并与半导体传感器进行集成，能够显著降低传感器的体积，利于实现传感器的小型化，适用于大气中二氧化氮的便携式精确监测。
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公开(公告)号：CN112557460A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011412747.X
申请日：2020-12-02
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度三氧化钨气敏薄膜的制备方法，涉及气敏薄膜制备技术领域。本发明将带有氧化层的硅基片置于氟化铵、氢氟酸及去离子水的混合溶液中静置一段时间，之后再采用射频掠射角磁控溅射在处理后的硅基片表面沉积三氧化钨薄膜并进行热处理。本发明能够提高在硅基体上沉积的三氧化钨气敏薄膜对二氧化氮的灵敏度，且制备工艺简单，与目前微型气体传感器的制备工艺兼容性高，便于实现硅基集成，适合于工业大规模生产。
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公开(公告)号：CN118258871A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410468589.1
申请日：2024-04-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/406
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，尤其涉及一种多功能电化学气体传感器及其制备方法。所述多功能电化学气体传感器，包括加热层、基底层、以及电极层，所述基底层包括衬底层和电解质层，所述电极层设置于所述电解质层上方，所述电极层包括第一、第二、第三、第四4个工作电极、以及参比电极，所述第一、第二、第三、第四工作电极均包括U型结构区域；所述参比电极包括主干和设置于主干上的四个分支，所述参比电极的四个分支分别设置于所述第一、第二、第三、第四工作电极的U型结构区域内。本发明公开的多功能电化学气体传感器的结构一方面可以增加电极的有效工作面积，另一方面可以缩短电极间的电荷传输距离，增强检测精度。
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