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    温度控制系统的工作流体输出装置
    11.
    发明公开
    温度控制系统的工作流体输出装置 有权

    公开(公告)号：CN105782178A

    公开(公告)日：2016-07-20

    申请号：CN201410814084.2

    申请日：2014-12-24

    申请人： 旺矽科技股份有限公司

    发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  李岳颖 ,  张盈乔

    IPC分类号： F16B1/02

    摘要： 本发明涉及一种温度控制系统的工作流体输出装置，包含有一输出头、一配接组件及一快拆机构，输出头的一底板及配接组件的一顶板分别有一安装面及一穿孔，快拆机构包含有分别设于该二安装面的第一、二单元，该第一单元包含有一操作件，该操作件具有一定位部，且该操作件能供一使用者操作而使该定位部在一锁固位置与一未锁固位置之间移动，使得该第一单元与该第二单元可拆卸地结合，并使得配接组件以该二安装面相对且该二穿孔相连通的方式而可拆卸地设置于输出头；由此，该配接组件能快速、安全且方便地被拆装。

    使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法
    12.
    发明公开
    使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法 有权

    公开(公告)号：CN104807191A

    公开(公告)日：2015-07-29

    申请号：CN201410037341.6

    申请日：2014-01-26

    申请人： 旺矽科技股份有限公司

    发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  李岳颖 ,  张盈乔

    IPC分类号： F24H9/20

    摘要： 本发明涉及一种使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法，该加热装置包含有一内部有一流道的外壳、一设于流道内的加热器、一光导杆、一导光元件及一光检测器。光导杆具有一透明本体、一第一端部及位于外壳内部的第二端部，导光元件位于该第二端部且面向加热器，以将加热器发出的光往第一端部的方向导引。光检测器位于该第一端部并面向第二端部，以通过透明本体间接地接收加热器照射于导光元件的光。由此，该光检测器可用于检测该加热器的温度，且因反应速度快而能对该加热器达到有效的过热保护，该光检测器可避免因处在高温差环境而易损坏的问题，且该加热装置在空间配置上相当有弹性。

    具有消音功能的气体排放装置及消音方法
    13.
    发明公开
    具有消音功能的气体排放装置及消音方法 有权

    公开(公告)号：CN110523232A

    公开(公告)日：2019-12-03

    申请号：CN201810841300.0

    申请日：2018-07-27

    申请人： 旺矽科技股份有限公司

    发明人： 李岳颖 ,  赫尔格·雅各布·克里斯塔 ,  张盈乔

    IPC分类号： B01D53/26 ,  G10K11/16

    摘要： 本发明是关于一种具有消音功能的气体排放装置及消音方法，其中，具有消音功能的气体排放装置包含排放管、外管、至少一挡板以及消音元件；排放管具有排放口，排放管沿长轴方向的一端具有第一端面，第一端面毗邻排放口；外管套设于排放管外，且外管具有相连通的通道以及出口，出口毗邻第一端面，通道用以流通干净干燥气体至出口；挡板设置于出口外，使得干净干燥气体在通过出口时，至少部分被挡板制挡转向而吹往第一端面，挡板具有第二端面，至少部分朝向排放管的中心线，第一端面与第二端面之间形成导引口；消音元件位于出口，且至少部分分隔于导引口与通道之间；具有消音功能的气体排放装置能使干净干燥气体的应用变得更安静。

    温度控制系统及其方法
    14.
    发明授权
    温度控制系统及其方法 有权

    公开(公告)号：CN106873662B

    公开(公告)日：2019-02-26

    申请号：CN201610824065.7

    申请日：2016-09-14

    申请人： 旺矽科技股份有限公司

    发明人： 克里斯达·黑尔格·雅各布 ,  张盈乔 ,  李岳颖

    IPC分类号： G05D23/20

    摘要： 一种温度控制系统及其方法，该系统包括一第一通道、一第二通道、一加热元件、一DUT腔室、一转换器、一第一PID控制器及至少一个切换调节器。该加热元件设置于该第一通道及该第二通道下游以根据一输入功率对来自该第一通道的第一空气或来自该第二通道的第二空气进行加热，以便将具有一温度的混合空气提供至该DUT腔室中。该转换器将一AC功率转换成一DC功率。该第一PID控制器根据一第一设定点及由该加热元件消耗的功率的一量测信号来提供一第一输入信号。该输入功率借由该切换调节器根据该第一输入信号调整以驱动该加热元件。因此，电功率的使用将更有效率。本发明还提供了用于该受测装置的一温度控制系统的温度控制方法。

    使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法
    15.
    发明授权
    使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法 有权

    公开(公告)号：CN104807191B

    公开(公告)日：2017-10-27

    申请号：CN201410037341.6

    申请日：2014-01-26

    申请人： 旺矽科技股份有限公司

    发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  李岳颖 ,  张盈乔

    IPC分类号： F24H9/20

    摘要： 本发明涉及一种使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法，该加热装置包含有一内部有一流道的外壳、一设于流道内的加热器、一光导杆、一导光元件及一光检测器。光导杆具有一透明本体、一第一端部及位于外壳内部的第二端部，导光元件位于该第二端部且面向加热器，以将加热器发出的光往第一端部的方向导引。光检测器位于该第一端部并面向第二端部，以通过透明本体间接地接收加热器照射于导光元件的光。由此，该光检测器可用于检测该加热器的温度，且因反应速度快而能对该加热器达到有效的过热保护，该光检测器可避免因处在高温差环境而易损坏的问题，且该加热装置在空间配置上相当有弹性。