公开(公告)号：CN105008868B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201380074118.2

申请日：2013-12-13

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 绪方公俊 ,  石塚典男 ,  松本昌大

IPC: G01F1/68 ,  G01F1/684

CPC classification number: G01F1/69 ,  G01F1/684 ,  G01F1/6842 ,  G01F15/022 ,  H01L29/045 ,  H01L29/84

Abstract: 为了提供测量精度高的热式流量计，采用以下结构：具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的 轴平行。