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公开(公告)号：CN1769349A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510117095.6
申请日：2003-02-26
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种二氧化硅涂膜形成用组合物，含有作为(a)组分的烷氧基硅烷等硅氧烷树脂，作为(b)组分的可以溶解该硅氧烷树脂的醇等溶剂，作为(c)组分的铵盐等以及作为(d)组分的受热分解挥发性化合物，具有如下固化性能，在150℃/3分的加热处理下得到的涂膜的应力为10MPa，而且通过最终固化得到的二氧化硅涂膜的比电容率小于3.0。本发明的二氧化硅涂膜形成用组合物，在形成具有低电容率、粘结性的同时可以形成具有很好机械强度的二氧化硅涂膜。
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公开(公告)号：CN1698018A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000499.0
申请日：2004-10-07
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明的放射线固化性组合物含有(a)成分：硅氧烷树脂、(b)成分：光酸发生剂或光碱发生剂、及(c)成分：可溶解(a)成分并且含有非质子型溶剂的溶剂。
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公开(公告)号：CN1639283A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03804816.7
申请日：2003-02-26
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09D183/02 , C09D183/04 , C09D5/25
CPC classification number: H01L23/5329 , C09D183/02 , C09D183/04 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , Y10T428/31663 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种二氧化硅涂膜形成用组合物，含有作为(a)组分的烷氧基硅烷等硅氧烷树脂，作为(b)组分的可以溶解该硅氧烷树脂的醇等溶剂，作为(c)组分的铵盐等以及作为(d)组分的受热分解挥发性化合物，具有如下固化性能，在150℃/3分的加热处理下得到的涂膜的应力为10MPa，而且通过最终固化得到的二氧化硅涂膜的比电容率小于3.0。本发明的二氧化硅涂膜形成用组合物，在形成具有低电容率、粘结性的同时可以形成具有很好机械强度的二氧化硅涂膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101551589B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200910004721.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)R1OCOASiX3(R1、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。
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公开(公告)号：CN1769349B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200510117095.6
申请日：2003-02-26
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种二氧化硅涂膜形成用组合物，含有作为(a)组分的烷氧基硅烷等硅氧烷树脂，作为(b)组分的可以溶解该硅氧烷树脂的醇等溶剂，作为(c)组分的铵盐等以及作为(d)组分的受热分解挥发性化合物，具有如下固化性能，在150℃/3分的加热处理下得到的涂膜的应力为10MPa，而且通过最终固化得到的二氧化硅涂膜的比电容率小于3.0。本发明的二氧化硅涂膜形成用组合物，在形成具有低电容率、粘结性的同时可以形成具有很好机械强度的二氧化硅涂膜。
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公开(公告)号：CN101551589A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910004721.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)：R1OCOASiX3(R1、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)：具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)：作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)：能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。
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公开(公告)号：CN101517487A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035435.8
申请日：2007-09-19
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027 , G03F7/022
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，含有(a)成分：水解缩合包括由下述通式(1)表示的化合物的硅烷化合物而得到的硅氧烷树脂，(b)成分：溶解(a)成分的溶剂，以及(c)成分：醌二叠氮基磺酸酯化合物。式(1)中，R1表示有机基团，A表示2价有机基团，X表示水解性基团，同一分子内的多个X相同或不同。
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公开(公告)号：CN1320073C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200410097089.4
申请日：2003-02-26
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09D183/04 , H01L21/316
CPC classification number: H01L23/5329 , C09D183/02 , C09D183/04 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , Y10T428/31663 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种二氧化硅涂膜形成用组合物，含有作为(a)组分的烷氧基硅烷等硅氧烷树脂，作为(b)组分的可以溶解该硅氧烷树脂的醇等溶剂，作为(c)组分的铵盐等以及作为(d)组分的受热分解挥发性化合物，具有如下固化性能，在150℃/3分的加热处理下得到的涂膜的应力为10MPa，而且通过最终固化得到的二氧化硅涂膜的比电容率小于3.0。本发明的二氧化硅涂膜形成用组合物，在形成具有低电容率、粘结性的同时可以形成具有很好机械强度的二氧化硅涂膜。
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