公开(公告)号：CN104237578A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410262345.4

申请日：2014-06-12

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 新井治 ,  齐藤祐贵 ,  井上龙雄 ,  清藤英博

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01B21/08 ,  G01R1/07307 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2874

Abstract: 本发明提供一种与两个测定温度相对应的探针卡及其制造方法。为了对配置在安装有热源的作业台上的被检查体进行电气试验而探针卡将被检查体的电极和测试器连接。探针卡包括：形成有与测试器相连接的导电路径的电路基板；形成有与该电路基板的上述导电路径相对应的导电路径并设有与导电路径相连接的探针的探针基板；热膨胀调整构件，其与探针基板相结合，并为了限制探针基板的热伸缩而具有与探针基板的线膨胀系数不同的线膨胀系数，热膨胀调整构件和探针基板构成复合体。如下进行设定：若在被检查体处于两个测定温度时复合体处于相对应的到达温度，则使各测定温度与相对应的到达温度之间的温度差的情况下的被检查体和复合体的伸缩变化量大致相等。