公开(公告)号：CN111788862B

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN201980015453.2

申请日：2019-12-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 高桥朋大 ,  松下谅平

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

Abstract: 陶瓷加热器(10)具备内置有内周侧和外周侧电阻发热体(22、24)的陶瓷板(20)和在其背面(20b)接合的筒状轴(40)。长孔(26)从陶瓷板(20)的起点(26s)开始延伸至陶瓷板(20)的外周部的终端位置(26e)。长孔(26)的入口部分成为长槽(26a)。长槽(26a)以从起点(26s)开始直至扩张区域(20f)的方式设置。端子(22a、22b、24a、24b)设置在轴内区域(20d)中长槽(26a)以外的位置。

公开(公告)号：CN111052343A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201980004355.9

申请日：2019-06-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 高桥朋大

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

Abstract: 晶圆支撑台(20)在圆板状的陶瓷基体(22)的内部埋设有RF电极(23)和加热电极(30)。RF电极(23)由设于将晶圆载置面(22a)分割成多个而得到的每个区的多个RF区电极(24、25)构成。RF区电极(24、25)分成相距晶圆载置面(22a)的距离(高度)不同的两层而设置。加热电极(30)由设于将晶圆载置面(22a)以与RF区电极(24、25)相同的方式或不同的方式分割成多个而得到的每个区的加热区电极(31、32)构成。