公开(公告)号：CN111448647A

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201980006368.X

申请日：2019-02-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 海野丰 ,  渡边玲雄

IPC: H01L21/683

Abstract: 静电卡盘加热器是约翰生-拉别克型，用于在晶片上形成导电膜。该静电卡盘加热器具有圆板状的陶瓷基体，其具备静电电极和电阻发热体；以及中空轴，其安装于陶瓷基体的与晶片载置面相反侧的面上。凸状环设置在晶片载置面，其外径比晶片的直径小。贯通孔设置为从中空轴的周壁下端贯通至晶片载置面中的凸状环的内侧。贯通孔能够从中空轴的下端向由晶片载置面、凸状环和载置在晶片载置面上的晶片包围的晶片下方空间供给气体。

公开(公告)号：CN110800096A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880043581.3

申请日：2018-10-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 渡边玲雄 ,  近藤畅之 ,  海野丰

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电卡盘(10)，其具有在圆板状的陶瓷板(12)埋设有静电电极(16)的构造，并利用约翰森-拉别克力吸附载置于陶瓷板(12)且直径比陶瓷板(12)的直径小的晶片(W)。该静电卡盘(10)在陶瓷板(12)的表面中的从陶瓷板(12)的外周缘至载置于陶瓷板(12)的晶片(W)的外周缘的内侧为止的环状区域具有电阻比陶瓷板(12)的电阻大的绝缘膜(14)。

公开(公告)号：CN110753995A

公开(公告)日：2020-02-04

申请号：CN201980003019.2

申请日：2019-03-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 海野丰 ,  渡边玲雄

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供静电卡盘加热器，是约翰逊-拉别克型，用于在晶片上形成导电膜。该静电卡盘加热器具备：具有静电电极和电阻发热体的圆板状的陶瓷基体；和安装于陶瓷基体的与晶片载置面相反一侧的面的中空轴。最外周突起组由在晶片载置面中的外径比晶片的直径小的环状区域内沿陶瓷基体的同心圆排列的多个突起构成。圆周槽设于最外周突起组的内侧。贯通孔设置为从中空轴的周壁的下端贯通至晶片载置面中的圆周槽的内侧的区域。能够从中空轴的下端经由贯通孔向由晶片载置面和最外周突起组以及载置于晶片载置面的晶片包围的晶片下方空间供给气体。