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公开(公告)号：CN110366704A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201880015012.8
申请日：2018-01-31
Applicant: 日本瑞翁株式会社
Inventor： 藤村诚
IPC: G03F7/023 , C07D303/28 , C08G59/22 , G03F7/004 , G03F7/075
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可充分抑制显影残渣的产生且能够形成具有优异的伸长性的树脂膜的放射线敏感性树脂组合物。本发明的放射线敏感性树脂组合物含有：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)、具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-2)、2官能环氧化合物(B)以及放射线敏感性化合物(C)，上述环状烯烃聚合物(A-1)的重均分子量为1000以上且小于10000，上述环状烯烃聚合物(A-2)的重均分子量为10000以上且100000以下，而且，上述环状烯烃聚合物(A-2)的含量为上述环状烯烃聚合物(A-1)和环状烯烃聚合物(A-2)的合计含量的5质量％以上且55质量％以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107922741A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680046815.0
申请日：2016-08-25
Applicant: 日本瑞翁株式会社
IPC: C08L101/00 , C08K5/13 , C08L63/00 , C08L65/00 , C08G59/62
CPC classification number: C08K5/13 , C08G59/62 , C08G61/02 , C08G61/08 , C08J5/18 , C08J2365/00 , C08L45/00 , C08L63/00 , C08L65/00 , C08L101/00 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/038 , G03F7/039 , C08L2666/04
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物，含有粘结剂树脂(A)、下述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)。式(1)中，R1～R8各自独立地为氢原子、羟基、羧基、能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基。m为0～2的整数，m＝0时，R1～R4、R6、R7的至少2个为羟基，m＝1或2时，R1～R8的至少2个为羟基，在m为2以上的情况下，无论通式(1)所表示的结构如何，存在的3个以上的苯环能够在任意的位置相互稠合。
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公开(公告)号：CN110366704B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201880015012.8
申请日：2018-01-31
Applicant: 日本瑞翁株式会社(JP)
Inventor： 藤村诚
IPC: G03F7/023 , C07D303/28 , C08G59/22 , G03F7/004 , G03F7/075
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可充分抑制显影残渣的产生且能够形成具有优异的伸长性的树脂膜的放射线敏感性树脂组合物。本发明的放射线敏感性树脂组合物含有：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A‑1)、具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A‑2)、2官能环氧化合物(B)以及放射线敏感性化合物(C)，上述环状烯烃聚合物(A‑1)的重均分子量为1000以上且小于10000，上述环状烯烃聚合物(A‑2)的重均分子量为10000以上且100000以下，而且，上述环状烯烃聚合物(A‑2)的含量为上述环状烯烃聚合物(A‑1)和环状烯烃聚合物(A‑2)的合计含量的5质量％以上且55质量％以下。
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公开(公告)号：CN113840849A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202080036693.3
申请日：2020-06-18
Applicant: 日本瑞翁株式会社
Inventor： 藤村诚
IPC: C08F232/04 , C08G59/40 , C08G61/08 , C08G73/14 , C08J5/18 , C08K5/13 , C08K5/1515 , C08K5/28 , C08L45/00 , C08L63/00 , C08L65/00 , C08L79/08 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/312 , H01L23/532
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物，其含有聚合物(A)和包含下式(1)所表示的化合物的交联剂(B)。在此，聚合物(A)满足以下两个条件中的至少一个：包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A‑1)且具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为51摩尔％以上、以及包含具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂(A‑2)。式(1)中，多个R表示烷基和烷氧基中的任一者，多个R1表示氢原子、烷基和烷氧基中的任一者，m～q分别表示0～4的整数。
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公开(公告)号：CN108885398A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018544.2
申请日：2017-03-17
Applicant: 日本瑞翁株式会社
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A)、下述通式(1)所示的2官能环氧化合物(B)以及放射线敏感性化合物(C)。(在上述通式(1)中，R1为碳原子数为1～15的直链状或分支状的亚烷基，k为1～20的整数。)
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