公开(公告)号：CN113396182B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202080012831.4

申请日：2020-02-04

Applicant: 日本瑞翁株式会社(JP)

Inventor： 藤村诚

IPC: C08L45/00 ,  C08G59/40 ,  C08L79/08

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物，其含有具有质子性极性基团的聚合物(A)和式(1)所表示的交联剂(B)。在此，具有质子性极性基团的聚合物(A)包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物和具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂中的至少一者。式(1)中，多个R各自独立地表示碳原子数为1～6的烷基和碳原子数为1～6的烷氧基中的任一个，m、n和p各自表示0～4的整数，q表示0～5的整数。

公开(公告)号：CN110366704B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN201880015012.8

申请日：2018-01-31

Applicant: 日本瑞翁株式会社(JP)

Inventor： 藤村诚

IPC: G03F7/023 ,  C07D303/28 ,  C08G59/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可充分抑制显影残渣的产生且能够形成具有优异的伸长性的树脂膜的放射线敏感性树脂组合物。本发明的放射线敏感性树脂组合物含有：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A‑1)、具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A‑2)、2官能环氧化合物(B)以及放射线敏感性化合物(C)，上述环状烯烃聚合物(A‑1)的重均分子量为1000以上且小于10000，上述环状烯烃聚合物(A‑2)的重均分子量为10000以上且100000以下，而且，上述环状烯烃聚合物(A‑2)的含量为上述环状烯烃聚合物(A‑1)和环状烯烃聚合物(A‑2)的合计含量的5质量％以上且55质量％以下。