公开(公告)号：CN113454761A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202080012364.5

申请日：2020-02-25

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 花待年彦 ,  诸田修平 ,  泷本优 ,  荒木良仁 ,  横山响 ,  藤井理启

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  C23C4/129 ,  C23C4/134

Abstract: 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。

公开(公告)号：CN113169112A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980081476.3

申请日：2019-12-03

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 荒木良仁 ,  诸田修平 ,  花待年彦 ,  横山响

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明的具有流路的板件，其包括：主体部，其形成有使惰性气体流通的流路；以及盖部，其覆盖主体部的流路的形成面，在主体部的流路设置有埋设在该流路的开口的埋设部件，埋设部件包括：埋设部，其固定在流路；以及流通部，其由埋设部保持，使惰性气体从主体部的内部向外部流通，在流通部设置有多个贯通孔，埋设部件与流路通过绝缘性的粘合剂固定，埋设部的外周的直径与包含全部贯通孔的圆中最小的圆的直径的比为1.2以上。