公开(公告)号：CN203582456U

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201320369526.8

申请日：2013-06-20

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·阿里加托 ,  B·西摩尼 ,  C·瓦尔扎西纳 ,  L·科尔索

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  G01C19/00

CPC classification number: B81B7/0074 ,  B81B7/007 ,  B81B7/008 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/015 ,  B81B2207/07 ,  B81B2207/092 ,  B81B2207/093 ,  B81B2207/096 ,  B81B2207/097 ,  B81C1/0023 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/0792 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本实用新型的实施例涉及一种微机电设备和电子系统，微机电设备包括：主体，容纳微机电结构；帽，通过导电键合区域键合至所述主体并且电耦合至所述微机电结构；其中所述帽包括选择模块，所述选择模块具有连接至所述微机电结构的第一选择端子、第二选择端子和至少控制端子，并且所述选择模块选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一，通过所述控制端子可控制地将所述第二选择端子耦合至相应第一选择端子。