公开(公告)号：CN113728250A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202080031521.7

申请日：2020-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塔帕什里·罗伊 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森

IPC: G02B1/00

Abstract: 本公开内容的实施方式大体上涉及形成光学器件的方法，光学器件包含设置在透明基板上的纳米结构。提供基板作为用于形成光学器件的底座。透明层设置在基板的第一表面上，以及结构层设置在透明表面上。氧化物层设置在基板的与第一表面相反的第二表面上，以及在氧化物层中形成窗口或开口，以暴露出基板的第二表面的一部分。接着，在结构层中形成多个纳米结构，以及移除基板的从窗口延伸至透明层的部分。然后，使透明层的一部分与基板分离以形成光学器件，透明层的该部分具有设置在其上的纳米结构。

公开(公告)号：CN113454495A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202080015721.3

申请日：2020-02-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塔帕什里·罗伊 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 ,  卢多维克·戈代 ,  傅晋欣

IPC: G02B1/04

Abstract: 公开一种用于建立平坦光学结构的方法和设备。方法包括在基板中蚀刻至少一个沟道，在基板中的至少一个沟道中放置介电材料，和以膜封装基板的顶部。

公开(公告)号：CN113167923A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980076789.X

申请日：2019-10-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塔帕什里·罗伊 ,  韦恩·麦克米兰 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森

IPC: G02B1/04

Abstract: 在本公开内容中提供了具有纳米结构的超颖表面的实施方式，所述纳米结构具有所需的几何轮廓及配置。在一个实施方式中，超颖表面包括形成在基板上的纳米结构，其中该纳米结构的形状为立方形或圆柱形。在另一个实施方式中，超颖表面包括在基板上的多个纳米结构，其中每个纳米结构彼此以大于35nm的间隙间隔开来。在又一个实施方式中，超颖表面包括在基板上的多个纳米结构，其中所述纳米结构由以下至少一者制成：TiO2、氮化硅或非晶硅，或GaN或氧化铝锌或折射率大于1.8且吸收系数小于0.001的任何材料，该基材是透明的，其中该基板的吸收系数小于0.001。

公开(公告)号：CN111316155A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880071471.8

申请日：2018-09-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 ,  罗伯特·简·维瑟 ,  塔帕什里·罗伊

IPC: G02F1/1335

Abstract: 本文公开的方面涉及用于显示装置的滤色器，且更具体而言涉及用于透射或反射和回收利用液晶显示装置中的光的颜色的滤色器。在一方面中，超颖表面(metasurface)形成在LCD装置中的两个偏光器之间。在另一方面中，超颖表面形成在LCD装置的白色光导上。超颖表面被形成以透射所需颜色的光并且以将非所需颜色的光反射回至光导中，以被回收利用并且通过LCD装置的其他位置。使用滤色器以回收利用反射的光颜色增加了显示装置(诸如LCD装置)的效率。