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公开(公告)号:CN108827523A
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201810864753.5
申请日:2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于海洋环境监测仪器技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器以其制备方法。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳;基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位于应力腔的正上方;压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;金属外壳安装在基底的顶面,并将绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内,在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本发明的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN119372620A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202411899893.8
申请日:2024-12-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 , 崂山国家实验室
Abstract: 本发明涉及金属/非金属复合电极制备领域,具体的涉及一种硼掺杂金刚石薄膜/金属复合电极及其制备方法,包括:步骤1:薄膜的制备,利用热丝化学气相沉积设备制备,调整生长参数,生长一定时间后,得到表面含有较多非金刚石碳的重掺硼掺杂金刚石薄膜;步骤2:对薄膜的表面进行处理,非金刚石碳刻蚀去除,得到具有表面微结构的薄膜;步骤3:能级匹配金属填充表面微结构,得到平滑结构表面的硼掺杂金刚石薄膜/金属复合电极。本技术方案通过薄膜生长过程中调控非金刚石碳含量及其分布,再通过刻蚀去除表面的非金刚石碳,消除了非金刚石碳对电极长期稳定性的影响。
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公开(公告)号:CN119194399A
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202411331838.9
申请日:2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜;利用微波等离子体技术,通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石;在低真空环境下,通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体,热解产生石墨烯生长所需的碳原子,碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构,最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性,在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号:CN118688275A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410853146.4
申请日:2024-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电化学传感器技术领域,涉及一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极,包括掺硼金刚石膜;所述掺硼金刚石膜的一侧表面均布纳米沟壑;所述纳米沟壑的宽度为10~20 nm,深度为1~2μm。本发明的具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极比表面积大,背景电流低,在盐度测量中表现出较高的信噪比,而且稳定性好,防生物附着能力强。
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公开(公告)号:CN118497704A
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202410603482.3
申请日:2024-05-15
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电极材料技术领域,涉及一种掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极,包括下层的平面掺硼金刚石厚膜和上层的空心掺硼金刚石阵列。本发明提供的具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极相比于实心纳米阵列结构,空心纳米阵列进一步增大了电极的活性比表面积,有利于实现更优异的电化学性能。
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公开(公告)号:CN115536110A
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202211193290.7
申请日:2022-09-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明提出了一种电化学还原臭氧增效水处理装置及其处理方法。本发明包括直流电源、电解槽、臭氧发生器和循环管路;电解槽包括槽体,槽体的内部设有电解液,电解液中设有多孔圆筒形阳极和同轴套接在多孔圆筒形阳极内部的管式膜阴极,多孔圆筒形阳极与直流电源的正极连接,管式膜阴极与直流电源的负极连接,槽体的内部还设有曝气器;臭氧发生器设置于电解槽的一侧,臭氧发生器通过管道与曝气器连接;循环管路的一端与管式膜阴极连通,循环管路上设有输送泵,循环管路的另一端与槽体连通。本发明的管式膜阴极表面粗糙度高,电化学还原臭氧反应活性高;循环管路提高了传质效率,增大了污染物与·OH的接触效率,提高了氧化降解污染物的效率。
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公开(公告)号:CN115501767A
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202211082831.9
申请日:2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及水处理技术领域,具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜;所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔。本发明将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域,采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜,并提供一种电催化膜组件,打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈,处理效率大幅度提高,能耗显著降低。
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公开(公告)号:CN112763556B
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202011427912.9
申请日:2020-12-07
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法,该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构,利用石墨烯层提高电极的电导率,同时缓解金刚石膜的内应力,在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上,利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点,能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN114689662B
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210602908.4
申请日:2022-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明提出了一种自清洁电极式电导率传感器,涉及传感器的技术领域。本发明包括一体式电极和旋转机构;一体式电极包括基体,基体的一端设有温度电极,基体的外表面上设有环形电极,环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层;旋转机构的一端转动连接有第一端盖,另一端转动连接有第二端盖,一体式电极设置于第一端盖上并与之滑动连接;旋转机构包括测试舱和与之固定连接的清洁舱;测试舱为开放式结构;清洁舱的内部设有清洁刷,温度电极和环形电极可滑动至清洁舱的内部,清洁舱的外部设有旋转叶片。本发明提高了温度和电导率测量的同步性,提高了电极的抗生物附着能力,测量结果准确可靠;实现了电极的原位清洗,清洗方便,提高了测量精度。
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公开(公告)号:CN114689662A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202210602908.4
申请日:2022-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明提出了一种自清洁电极式电导率传感器,涉及传感器的技术领域。本发明包括一体式电极和旋转机构;一体式电极包括基体,基体的一端设有温度电极,基体的外表面上设有环形电极,环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层;旋转机构的一端转动连接有第一端盖,另一端转动连接有第二端盖,一体式电极设置于第一端盖上并与之滑动连接;旋转机构包括测试舱和与之固定连接的清洁舱;测试舱为开放式结构;清洁舱的内部设有清洁刷,温度电极和环形电极可滑动至清洁舱的内部,清洁舱的外部设有旋转叶片。本发明提高了温度和电导率测量的同步性,提高了电极的抗生物附着能力,测量结果准确可靠;实现了电极的原位清洗,清洗方便,提高了测量精度。
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