一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108827523A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810864753.5

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测仪器技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器以其制备方法。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳;基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位于应力腔的正上方;压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;金属外壳安装在基底的顶面,并将绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内,在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本发明的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种平行结构的石墨烯-金刚石复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN119194399A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411331838.9

    申请日:2024-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜;利用微波等离子体技术,通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石;在低真空环境下,通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体,热解产生石墨烯生长所需的碳原子,碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构,最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性,在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。

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