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公开(公告)号：CN119221118A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411331870.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C30B29/04 , C30B25/18 , C30B28/14 , C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/511 , C01B32/186 , C01B32/26
Abstract: 本发明公开了一种利用微波制备石墨烯‑金刚石复合材料的方法，包括如下步骤：采用微波化学气相沉积的方法，在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜，通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜，得到金刚石基片；将金刚石基片放入微波等离子体化学气相沉积设备的真空室内，形成具有氢终端表面结构的金刚石基片；然后对金刚石基片所在的样品台进行加热，再通入甲烷，利用微波能量使气体电离，形成微波等离子体，激发甲烷和氢气产生活性碳氢基团和氢原子，在金刚石表面沉积薄膜，得到石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了层转移对石墨烯层造成的损伤，可控制该复合结构的呈现出导体或半导体特性。
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公开(公告)号：CN119194399A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411331838.9
申请日：2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法，包括如下步骤：采用微波化学气相沉积的方法，在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜，通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜；利用微波等离子体技术，通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石；在低真空环境下，通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体，热解产生石墨烯生长所需的碳原子，碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构，最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性，在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN118688275A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410853146.4
申请日：2024-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电化学传感器技术领域，涉及一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极，包括掺硼金刚石膜；所述掺硼金刚石膜的一侧表面均布纳米沟壑；所述纳米沟壑的宽度为10~20 nm，深度为1~2μm。本发明的具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极比表面积大，背景电流低，在盐度测量中表现出较高的信噪比，而且稳定性好，防生物附着能力强。
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公开(公告)号：CN118497704A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410603482.3
申请日：2024-05-15
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电极材料技术领域，涉及一种掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极，包括下层的平面掺硼金刚石厚膜和上层的空心掺硼金刚石阵列。本发明提供的具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极相比于实心纳米阵列结构，空心纳米阵列进一步增大了电极的活性比表面积，有利于实现更优异的电化学性能。
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公开(公告)号：CN112423411B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202011239434.9
申请日：2020-11-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及一种产生均匀曲面温度场的电热装置，包括金属镂空壳层电极、电流接线柱、曲面基台、旋转支撑机构，所述金属镂空壳层电极包括偶数跟首尾相连的栅型结构和两个相邻的电流栅板，所述电流栅板由电流接线柱接入外电路，所述曲面基台布置在金属镂空壳层电极下方，所述曲面基台内表面设有水冷通道并与带动其转动的旋转支撑机构相连。其优点在于，镂空壳层电极与曲面基台均采用一体化设计，机械加工难度小，加工精度高，批量加工的一致性优异。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117330215A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311417581.4
申请日：2023-10-30
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L1/20
Abstract: 本发明公开了一种全金刚石结构的压力传感器芯片及其制备方法，压力传感器芯片包括单晶金刚石基片，所述基片上表面刻蚀有4个凹槽，每个凹槽内均沉积有硼掺杂金刚石薄膜作为桥电阻，4个桥电阻通过金属电极联通形成惠斯通电桥结构，所述基片背面通过刻蚀形成应力杯。本发明从结构仿真设计、金刚石薄膜生长、电桥设计、电极生长、芯体封装全过程进行相关研制，并最终完成形成高稳定性、高灵敏度的金刚石压阻传感器制备。在全金刚石结构的条件下，可以克服硅基半导体的本征激发温度低，材料强度差的缺点，有利于提高器件的测量范围和应用范围。
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公开(公告)号：CN115536110A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211193290.7
申请日：2022-09-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明提出了一种电化学还原臭氧增效水处理装置及其处理方法。本发明包括直流电源、电解槽、臭氧发生器和循环管路；电解槽包括槽体，槽体的内部设有电解液，电解液中设有多孔圆筒形阳极和同轴套接在多孔圆筒形阳极内部的管式膜阴极，多孔圆筒形阳极与直流电源的正极连接，管式膜阴极与直流电源的负极连接，槽体的内部还设有曝气器；臭氧发生器设置于电解槽的一侧，臭氧发生器通过管道与曝气器连接；循环管路的一端与管式膜阴极连通，循环管路上设有输送泵，循环管路的另一端与槽体连通。本发明的管式膜阴极表面粗糙度高，电化学还原臭氧反应活性高；循环管路提高了传质效率，增大了污染物与·OH的接触效率，提高了氧化降解污染物的效率。
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公开(公告)号：CN115501767A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211082831.9
申请日：2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及水处理技术领域，具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜；所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔。本发明将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域，采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜，并提供一种电催化膜组件，打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈，处理效率大幅度提高，能耗显著降低。
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公开(公告)号：CN112763556B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202011427912.9
申请日：2020-12-07
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法，该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构，利用石墨烯层提高电极的电导率，同时缓解金刚石膜的内应力，在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上，利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点，能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号：CN114689662B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210602908.4
申请日：2022-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明提出了一种自清洁电极式电导率传感器，涉及传感器的技术领域。本发明包括一体式电极和旋转机构；一体式电极包括基体，基体的一端设有温度电极，基体的外表面上设有环形电极，环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层；旋转机构的一端转动连接有第一端盖，另一端转动连接有第二端盖，一体式电极设置于第一端盖上并与之滑动连接；旋转机构包括测试舱和与之固定连接的清洁舱；测试舱为开放式结构；清洁舱的内部设有清洁刷，温度电极和环形电极可滑动至清洁舱的内部，清洁舱的外部设有旋转叶片。本发明提高了温度和电导率测量的同步性，提高了电极的抗生物附着能力，测量结果准确可靠；实现了电极的原位清洗，清洗方便，提高了测量精度。
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