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公开(公告)号:CN107142462B
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201710230848.7
申请日:2017-04-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种金刚石基海水盐度传感器电极材料,使用金刚石薄膜材料/金刚石复合薄膜材料作为海水盐度传感器的电极材料,所述金刚石薄膜材料包括掺硼多晶金刚石薄膜材料、掺硼纳米金刚石薄膜材料,所述金刚石复合薄膜材料包括金刚石/石墨复合薄膜材料、金刚石/碳化物复合薄膜材料、掺硼金刚石/非晶碳复合薄膜材料以及经过金属、有机物或无机物分子表面修饰或改性过的金刚石薄膜材料,本发明所公开的电极材料具有电化学窗口宽、背景电流低、抗腐蚀性强、防生物附着能力强、机械强度高、化学性能稳定高、功能化途径多、再加工性好、生物亲和性强等优点,还提高了海水盐度传感器的测量精度和可靠性,延长了海水盐度传感器的使用寿命。
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公开(公告)号:CN107142462A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201710230848.7
申请日:2017-04-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
CPC classification number: C23C16/278 , C23C14/16 , C23C14/165 , C23C14/18 , C23C14/185 , C23C14/30 , C23C14/35 , C23C16/271 , C23C16/274 , C23C16/30 , C23C16/511 , G01N33/18
Abstract: 本发明公开了一种金刚石基海水盐度传感器电极材料,使用金刚石薄膜材料/金刚石复合薄膜材料作为海水盐度传感器的电极材料,所述金刚石薄膜材料包括掺硼多晶金刚石薄膜材料、掺硼纳米金刚石薄膜材料,所述金刚石复合薄膜材料包括金刚石/石墨复合薄膜材料、金刚石/碳化物复合薄膜材料、掺硼金刚石/非晶碳复合薄膜材料以及经过金属、有机物或无机物分子表面修饰或改性过的金刚石薄膜材料,本发明所公开的电极材料具有电化学窗口宽、背景电流低、抗腐蚀性强、防生物附着能力强、机械强度高、化学性能稳定高、功能化途径多、再加工性好、生物亲和性强等优点,还提高了海水盐度传感器的测量精度和可靠性,延长了海水盐度传感器的使用寿命。
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公开(公告)号:CN111705304B
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202010655206.3
申请日:2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。
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公开(公告)号:CN115266858A
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN202210739565.6
申请日:2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于重金属检测技术领域,具体涉及BDD电极及其制备方法。一种基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极,该电极由下到上依次包括多孔电极基底、MOFs衍生碳基阵列和硼掺杂金刚石膜;所述硼掺杂金刚石膜与MOFs衍生碳基阵列具有相似形态。本发明提供基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极,大幅度提高了电极的比表面积,增强重金属离子的检测灵敏度;MOFs衍生物中含有类石墨烯组分,可以优化BDD的载流子传输路径,从而获得更快的信号响应速度。
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公开(公告)号:CN115184429A
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202210739433.3
申请日:2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明涉及电化学技术领域,具体涉及一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极及其制备方法。一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极,该电极由下到上依次为电极基底、3D碳纳米墙/金刚石膜和多孔CuO;所述3D碳纳米墙/金刚石膜垂直排列在所述电极基底上。本发明提供的用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极,高电催化活性的CuO纳米颗粒与3D网络化导电碳纳米墙/金刚石膜产生协同效应,显著促进了CuO生物识别元件电催化反应的质量和电荷输运动力学。
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公开(公告)号:CN112458429B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202011261303.0
申请日:2020-11-12
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/01 , C23C16/02 , C23C16/56 , G02B1/10 , G02B1/118 , G02B1/14 , G02B1/18 , G02B1/12
Abstract: 本发明涉及一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口制造方法,包括金刚石窗口基体及其表面经表面处理得到的微纳结构;制造方法包括:基底植晶、多热丝薄膜生长、金刚石基体分离、表面结构制备等步骤。其优点是,红外透光率高,耐沙尘、雨水侵蚀,机械性能优异,抗热冲击性能好。
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公开(公告)号:CN107631809A
公开(公告)日:2018-01-26
申请号:CN201710957090.7
申请日:2017-10-16
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器,包括管状的金属外壳,所述金属外壳顶端设有金刚石基底,所述金属外壳内部位于金刚石基底上设有硼掺杂金刚石薄膜材料制成的温度响应元件,所述温度响应元件的两端设有电极引线,所述温度响应元件和电极引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层;所述金属外壳和金刚石基底的连接处设有密封圈,同时还公开了该温度传感器的制备方法,本发明所公开的温度传感器体积小、响应速度快、分辨率高、结构稳定、测量不受外界海水压力影响。
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公开(公告)号:CN119121395A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202411256561.8
申请日:2024-09-09
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C30B29/04 , C30B25/00 , C30B33/04 , C30B31/20 , C01B32/184
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(100)、(110)或(111)取向的单晶金刚石薄膜;利用微波等离子体技术,通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石;在高真空环境下,利用钨灯丝产生热电子,施加高电压产生高能电子束;利用偏压技术将高能电子束引向具有氢终端表面的单晶金刚石表面进行轰击,将表面碳原子转变为石墨烯堆叠结构,得到石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法不额外引入碳源,将金刚石直接作为后续的衬底,避免了石墨烯转移技术带来的破坏。
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公开(公告)号:CN112763556A
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN202011427912.9
申请日:2020-12-07
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法,该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构,利用石墨烯层提高电极的电导率,同时缓解金刚石膜的内应力,在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上,利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点,能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN112458429A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202011261303.0
申请日:2020-11-12
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/01 , C23C16/02 , C23C16/56 , G02B1/10 , G02B1/118 , G02B1/14 , G02B1/18 , G02B1/12
Abstract: 本发明涉及一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口制造方法,包括金刚石窗口基体及其表面经表面处理得到的微纳结构;制造方法包括:基底植晶、多热丝薄膜生长、金刚石基体分离、表面结构制备等步骤。其优点是,红外透光率高,耐沙尘、雨水侵蚀,机械性能优异,抗热冲击性能好。
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