基于光学相干层析成像的激光加工质量检测系统及方法

    公开(公告)号:CN118518672A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410611218.4

    申请日:2024-05-16

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于光学相干层析成像的激光加工质量检测系统及方法,第一耦合器分别与光源和第一光谱仪通过光纤连接,第一耦合器通过光纤与第一准直器连接,第一准直器与反射镜沿光路依次布置,第二耦合器分别与第一耦合器和第二光谱仪通过光纤连接,第三耦合器与第二耦合器通过光纤连接,第三耦合器分别通过光纤与第二准直器、第三准直器和第四准直器连接;振镜布置在第二准直器、第三准直器和第四准直器的光路上,振镜和聚焦透镜沿光路依次布置,第二准直器、第三准直器和第四准直器的光程差不同,通过振镜的摆动实现扫描;本发明能够实现对焊接部位内部结构的高精度扫描,提高了检测效率和检测精度。

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