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公开(公告)号：CN102190275A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110043026.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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公开(公告)号：CN100590769C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200710104944.3
申请日：2002-04-03
Applicant: 富士通株式会社 , 日立等离子显示器股份有限公司
IPC: H01J9/24
CPC classification number: H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 间隔壁通过以下工序形成，即，在基板表面上设置覆盖显示区域及其外侧的层状的间隔壁材料的工序，设置跨越显示区域及其外侧的图形成形用的掩模、这时将配置在掩模上的显示区域的部分的图形制成网格状图形的工序，利用喷砂将由掩模部分地覆盖的前述间隔壁材料形成图形的工序，以及烧结形成图形的间隔壁材料的工序。
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公开(公告)号：CN102074352B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010537486.4
申请日：2010-11-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2039 , H01P3/081
Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块，可变分布常数线路包括衬底；信号线路，其设置在该衬底上，且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分；可移动电极，其设置在该衬底上方，且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分；以及驱动电极，其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上，通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极，且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN102190286A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN101764593A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910265526.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H7/0123 , H01P1/203 , H01P1/20381 , H01P1/2135 , H01P1/2136 , H01P3/082 , H03H7/0153
Abstract: 本发明提供一种滤波器、通信模组以及通信装置。其中滤波器包括：衬底；形成于衬底上的信号线，包括信号线两端处的输入端子和输出端子；以及第一对谐振线，连接在信号线和接地部分之间，其中，所述第一对谐振线在相同点连接到信号线。
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公开(公告)号：CN100570794C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200710104943.9
申请日：2002-04-03
Applicant: 富士通株式会社 , 日立等离子显示器股份有限公司
IPC: H01J9/24
CPC classification number: H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 间隔壁通过以下工序形成，即，在基板表面上设置覆盖显示区域及其外侧的层状的间隔壁材料的工序，设置跨越显示区域及其外侧的图形成形用的掩模、这时将配置在掩模上的显示区域的部分的图形制成网格状图形的工序，利用喷砂将由掩模部分地覆盖的前述间隔壁材料形成图形的工序，以及烧结形成图形的间隔壁材料的工序。
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公开(公告)号：CN101075521A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710104944.3
申请日：2002-04-03
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通日立等离子显示器股份有限公司
IPC: H01J9/24
CPC classification number: H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 间隔壁通过以下工序形成，即，在基板表面上设置覆盖显示区域及其外侧的层状的间隔壁材料的工序，设置跨越显示区域及其外侧的图形成形用的掩模、这时将配置在掩模上的显示区域的部分的图形制成网格状图形的工序，利用喷砂将由掩模部分地覆盖的前述间隔壁材料形成图形的工序，以及烧结形成图形的间隔壁材料的工序。
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公开(公告)号：CN1502113A
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN02807991.4
申请日：2002-04-03
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通日立等离子显示器股份有限公司
CPC classification number: H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 间隔壁通过以下工序形成，即，在基板表面上设置覆盖显示区域及其外侧的层状的间隔壁材料的工序，设置跨越显示区域及其外侧的图形成形用的掩模、这时将配置在掩模上的显示区域的部分的图形制成网格状图形的工序，利用喷砂将由掩模部分地覆盖的前述间隔壁材料形成图形的工序，以及烧结形成图形的间隔壁材料的工序。
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公开(公告)号：CN103477405A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201180069633.2
申请日：2011-03-29
Applicant: 富士通株式会社
Inventor： 丰田治
CPC classification number: F03G7/065 , B81B3/0072 , B81B3/0086 , B81B2201/016 , B81B2201/0221 , C25D7/00 , H01G5/16 , H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01L41/0926 , H01L41/0933 , H01L41/0973 , H01L41/318 , H02N1/006
Abstract: 电子设备及其制造方法中，抑制电子设备的电特性随着周围的温度变化而变动。所述电子设备具备绝缘性基板（31）、形成于绝缘性基板（31）上的电极（33）、和设置于电极（33）的上方并利用由该电极（33）产生的静电力而弯曲的可弹性变形的可动上部电极（34），可动上部电极包含形状记忆合金膜（38）。
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公开(公告)号：CN101764593B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200910265526.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H7/0123 , H01P1/203 , H01P1/20381 , H01P1/2135 , H01P1/2136 , H01P3/082 , H03H7/0153
Abstract: 本发明提供一种滤波器、通信模组以及通信装置。其中滤波器包括：衬底；形成于衬底上的信号线，包括信号线两端处的输入端子和输出端子；以及第一对谐振线，连接在信号线和接地部分之间，其中，所述第一对谐振线在相同点连接到信号线。
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