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公开(公告)号：CN1815646B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510066849.X
申请日：2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号：CN100573771C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200710007380.1
申请日：2007-01-31
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的表面；一对固定接触电极，与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的所述表面；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜以所述可移动部的所述表面为基准的厚度比所述可移动接触电极膜小。所述固定驱动电极与所述固定部接合，且所述固定部与所述基部接合。本发明的微开关器件适于减小驱动电压和降低插入损失。
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公开(公告)号：CN100492575C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510108574.1
申请日：2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101224866A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710196911.6
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H47/325 , H01H59/0009
Abstract: 一种微开关器件包括设置在可移动支撑件上的可移动电极，该可移动支撑件具有固定到固定件的端部。该微开关器件也包括第一和第二固接电极。可移动电极包括第一和第二接触部分。第一固接电极包括与可移动电极的第一接触部分相对的第三接触部分。第二固接电极包括与可移动电极的第二接触部分相对的第四接触部分。第一与第三接触部分之间的距离小于第二与第四接触部分之间的距离。开关器件还包括驱动机构，该驱动机构具有在可移动支撑件上设置的驱动力生成区域。驱动力生成区域的重心距第二接触部分比距第一接触部分更近。
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公开(公告)号：CN1815646A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510066849.X
申请日：2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号：CN100547723C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN101013640A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710007380.1
申请日：2007-01-31
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；一对固定接触电极，与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄。所述固定驱动电极与所述固定部接合，且所述固定部与所述基部接合。
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公开(公告)号：CN1835188A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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