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公开(公告)号：CN102160284A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200880131170.6
申请日：2008-11-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/0414 , H03H2003/0428 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 弹性波器件的制造方法包括以下步骤：层叠步骤，在基板(1)上形成包含下部电极(2)、压电膜(3)和上部电极(4)的多个弹性波器件；测定步骤，测定基板(1)上的多个弹性波器件中的动作频率的分布；以及调整步骤，根据动作频率的分布，在各弹性波器件的所述谐振部中，形成所述弹性波器件的厚度与其他部分不同的调整区域，在所述调整步骤中，以使各弹性波器件的所述谐振部中的所述调整区域的面积根据所述测定出的所述动作频率的分布而不同的方式，形成所述调整区域。由此，能够利用较少步骤简单地调整弹性波器件的频率特性。
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公开(公告)号：CN101785184A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200780100318.5
申请日：2007-08-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供陡峭性优异而无须增加外接部件或新的制作工序的弹性波滤波器。在同一基板上具有多个滤波器(10-1)，该滤波器(10-1)具有第1谐振器(2a-1)和第2谐振器(4a-1)，该第1谐振器(2a-1)配置在串联臂上，谐振频率为frs且反谐振频率为fas，该第2谐振器(4a-1)配置在并联臂上，谐振频率为frp且反谐振频率为fap，第1谐振器的谐振频率frs比第2谐振器的谐振频率frp高，第1谐振器的反谐振频率fas比第2谐振器的反谐振频率fap高，滤波器(10-1)多级连接。多级连接的滤波器中的至少一个滤波器(10-1)具有谐振频率为frp且反谐振频率为fap的第3谐振器(6-1)，第3谐振器(6-1)形成在基板上，在串联臂上相对于第1谐振器(2a-1)并联连接。
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公开(公告)号：CN101635562A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910151476.4
申请日：2009-07-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/205 , H03H3/02 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H2003/021 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供了一种声波装置，制作声波装置和传输设备的方法。一种声波装置包括衬底和形成在衬底上的多个压电薄膜谐振器。多个压电薄膜谐振器中的每个包括设置在衬底上的下电极，设置在下电极上的压电薄膜，设置在压电薄膜上并且经过压电薄膜与下电极相对的上电极。每个压电薄膜谐振器由衬底部分地支持并且在衬底上延伸以在衬底与每个下电极之间形成空腔。空腔在多个压电薄膜谐振器下方连续地延伸。
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公开(公告)号：CN101540590A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910008544.1
申请日：2009-01-23
Applicant: 富士通株式会社 , 国立大学法人千叶大学
CPC classification number: H03H9/6483
Abstract: 本发明提供了声波器件、双工器、通信模块和通信装置。本发明的声波器件包括其中以阶梯配置连接有多个谐振器的阶梯型滤波器。在该声波器件中，串行连接的谐振器P2和P4被连接在阶梯型滤波器的并行臂中，连接在并行臂中的谐振器P2和P4具有相互不同的谐振频率。可以改善阶梯型滤波器的边缘特性，并且可以减小滤波器元件尺寸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101795118A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200910174902.6
申请日：2009-10-29
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H7/075 , H03H7/42 , H03H7/01 , H03K19/0175
CPC classification number: H03H9/0028 , H03H7/42 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种高频器件、滤波器、双工器、通信模块和通信设备。在高频器件中，起电容器作用的谐振器(IDT电容器)被包含在滤波器或双工器中包含的集总常数平衡-不平衡转换器中，并且，IDT电容器的谐振频率被设置成高于滤波器的通带频率。这改善了电容器Q值，从而能够实现低损耗的平衡滤波器。
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公开(公告)号：CN101527551A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910117841.X
申请日：2009-03-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/02133 , H03H9/173
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器和通信设备。一种压电薄膜谐振器包括基板、形成在基板上的下电极、形成在基板和下电极上的压电膜以及形成在压电膜上并且与下电极相对的上电极。上电极具有主体部份和连接到该主体部份的扩展部份，该主体部份与下电极以及被布置在基板和下电极之间的开孔相对，该扩展部份具有与该开孔和基板相对的部份。
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公开(公告)号：CN101689845A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880023285.3
申请日：2008-03-05
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度H C 大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度H A 。
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公开(公告)号：CN101674062A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910139800.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了滤波器、双工器和通信装置。一种滤波器包括多个压电薄膜谐振器，压电薄膜谐振器是通过将压电膜夹在布置在基板上的下电极以及上电极之间而形成的。每个压电薄膜谐振器具有上电极和下电极彼此交叠而形成的电极区域，电极区域的轮廓包括曲线。在多个压电薄膜谐振器中，在相邻压电薄膜谐振器的相对电极区域中的压电薄膜谐振器被成形为具有彼此互补的轮廓。利用该滤波器，由压电薄膜谐振器的横向模式的不希望的波引起的影响可以被抑制。因此，可以在不牺牲具有空心结构的电极的机械强度的情况下实现小型化。
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公开(公告)号：CN101645699A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910165386.0
申请日：2009-08-07
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02118 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/568 , H03H2003/0435
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜谐振器、使用压电薄膜谐振器的滤波器和复用器。压电薄膜谐振器包括：衬底、形成于衬底上的下电极、形成于下电极上的压电薄膜和形成于压电薄膜上的上电极，下电极和上电极隔着压电薄膜彼此相对从而形成相对区域，相对区域包括位于所述相对区域的边界处的空间。所述空间从所述相对区域的内侧延伸到外侧，并形成于压电薄膜中或形成于压电薄膜上。
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