公开(公告)号：CN119167459A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202411291494.3

申请日：2024-09-14

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  孙晓东 ,  耿林 ,  谢峰

IPC: G06F30/10 ,  G06F30/20 ,  G06F30/28 ,  G01H17/00 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种近场超声悬浮物体的悬浮精度预测方法，步骤包括：获取近场超声振动系统的谐振频率和辐射盘的归一化振幅分布；基于归一化振幅分布，描述近场超声悬浮系统的挤压气膜；基于小扰动法，获取挤压气膜对应的等效刚度和阻尼系数；基于等效刚度和阻尼系数，构建近场超声悬浮物体的振动模型；基于振动模型，完成近场超声悬浮物体的悬浮精度预测。本发明实现了通过计算挤压气膜内的实际流场分布来预测悬浮物体振动幅值，因而能够从理论上分析不同设计和运行参数对系统悬浮精度的影响机制，并进一步用于设计运行参数优选和指导实际生产。此外，本发明可以为实现精密悬浮的流场分布控制提供理论基础。

公开(公告)号：CN117902330B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410164598.1

申请日：2024-02-05

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  张良 ,  施家胜 ,  耿林 ,  何祠龙

IPC: B65G54/02

Abstract: 本发明涉及非接触精密移动领域，具体公开一种基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置，包括基座、竖直振动单元、水平振动单元和U形振动组件，多个所述竖直振动单元沿基座长度方向线性分布在基座的中间支撑台面上，两个所述水平振动单元分别横向固定于基座两侧的支撑体顶端，且二者同轴相向设置，U形振动组件悬浮于竖直振动单元上方，且其两侧的两个立面分别与两所述水平振动单元非接触定位配合。本发明的基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置结构简单、易于加工、成本低，具有精度高、能量损失少、摩擦极小、无磨粒污染等特点，可广泛应用于半导体及其他精密部件的非接触定位及移动。

公开(公告)号：CN117902330A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202410164598.1

申请日：2024-02-05

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  张良 ,  施家胜 ,  耿林 ,  何祠龙

IPC: B65G54/02

Abstract: 本发明涉及非接触精密移动领域，具体公开一种基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置，包括基座、竖直振动单元、水平振动单元和U形振动组件，多个所述竖直振动单元沿基座长度方向线性分布在基座的中间支撑台面上，两个所述水平振动单元分别横向固定于基座两侧的支撑体顶端，且二者同轴相向设置，U形振动组件悬浮于竖直振动单元上方，且其两侧的两个立面分别与两所述水平振动单元非接触定位配合。本发明的基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置结构简单、易于加工、成本低，具有精度高、能量损失少、摩擦极小、无磨粒污染等特点，可广泛应用于半导体及其他精密部件的非接触定位及移动。

公开(公告)号：CN116644644B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202310872125.2

申请日：2023-07-17

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  李鑫 ,  郑妍 ,  孙先涛 ,  陈文杰

IPC: G06F30/23 ,  G06F17/11 ,  G06F30/28 ,  G01L11/00 ,  G06F113/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明属于非接触式悬浮技术领域，具体涉及一种基于悬浮物体偏心和倾斜状态下的回复力预测方法，包括获得超声换能器的谐振频率和振幅分布；建立同时考虑悬浮物体偏心和倾斜的回复力预测理论模型；基于气体润滑理论，推导出挤压膜内流体运动控制方程；利用有限差分法和样条插值法，获得悬浮物体的倾斜角和回复力大小；建立回复力和偏心距离的数学关系，并与实验结果进行验证。本发明从挤压流体运动的角度揭示了近场声悬浮偏心下回复力的产生机理，提出了同时考虑悬浮物体偏心和倾斜的回复力预测方法，能够准确地预测悬浮物体偏心时回复力的大小，为近场声悬浮在非接触精密悬浮领域的应用提供理论基础。