抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法

    公开(公告)号:CN115324868A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202211145493.9

    申请日:2022-09-20

    Abstract: 本发明公开抽水汽低温泵,包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件;所述壳体连接所述制冷机,所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台,所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台,所述障板连接所述辐射冷屏的顶部,所述辐射冷屏位于所述壳体的内部,所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置,所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面,所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口,所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果:缩短低温泵再生时间,提高再生效果,避免对前级泵造成不利影响,提高镀膜设备的运行效率;低温泵水汽测试方法,能够优化理论计算参数,提高计算精度。

    一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法

    公开(公告)号:CN113686059A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110875079.2

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器,所述压缩机通过管道与储气腔相连通,所述储气腔的内腔安装有阀组,所述阀组包括固定阀、旋转阀,所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔,且所述排气孔均与旋转阀相连通,所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔,所述阀组通过管道与一级回热器相连通,所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器,所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通,有效的提高了制冷效率,同时提升了有效的制冷量,大大提高了装置的实用性,取消了外部的预冷部件,结构上整合成一套设备,更加紧凑。

    一种液氮辅助降温的大冷量制冷机

    公开(公告)号:CN215983417U

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202121778427.6

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,在输入功率不变的前提下,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。

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