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公开(公告)号：CN116221066B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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公开(公告)号：CN114739030B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210224520.5
申请日：2022-03-07
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法，系统包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通，滤油器与吸附器通过气路连通，吸附器与进气连接管通过气路连通，进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通，平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通，吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀；本发明的优点在于：有效降低系统振幅，避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。
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公开(公告)号：CN113686059A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110875079.2
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组包括固定阀、旋转阀，所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔，且所述排气孔均与旋转阀相连通，所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器，所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通，有效的提高了制冷效率，同时提升了有效的制冷量，大大提高了装置的实用性，取消了外部的预冷部件，结构上整合成一套设备，更加紧凑。
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公开(公告)号：CN112392687A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202011300645.9
申请日：2020-11-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
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公开(公告)号：CN108105066B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201711439399.3
申请日：2017-12-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可变抽速的低温泵，包括设有开口部的大致呈圆筒形的壳体、位于该壳体内的辐射冷屏和制冷机冷头，所述辐射冷屏与所述制冷机冷头热连接，其特征在于，还包括：低温障板、联动杆、偏心轴、固定支架、传热杆、弹性冷链以及吸盘电磁铁组件。所述驱动电机的输出轴通过偏心轴驱动所述联动杆沿所述低温泵径向移动，所述联动杆带动所述传热杆沿所述低温泵径向移动，所述传热杆通过所述齿轮自锁机构带动所述低温障板的角度的调节，所述辐射冷屏依次通过所述弹性冷链、传热杆、齿轮自锁机构向所述低温障板传输冷量。该低温泵具有结构简单、自动化程度高的特点，可实现低温泵的抽速的灵活控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108302007A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201711418076.6
申请日：2017-12-24
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F04B37/02
CPC classification number: F04B37/02
Abstract: 本发明公开了一种低温离子泵，其特征在于，包括：壳体，其顶部设有吸入气体的开口；磁体，安装于所述壳体左右两侧表面；G-M制冷机，其包括分体连接的膨胀机和压缩机，所述壳体底部安装于所述膨胀机上；冷却台，连接所述膨胀机，通过所述壳体底部设有的通孔伸入所述壳体内；传热板，热连接安装于所述冷却台上表面；阴极板，热连接安装于所述传热板上；以及阳极筒，以任何方式绝缘地安装于所述壳体内，且位于所述阴极板间。本发明提供的低温离子泵可对阴极板进行可靠的制冷，显著增强对氢气以及部分稀有气体的排气能力。
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公开(公告)号：CN108105066A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711439399.3
申请日：2017-12-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可变抽速的低温泵，包括设有开口部的大致呈圆筒形的壳体、位于该壳体内的辐射冷屏和制冷机冷头，所述辐射冷屏与所述制冷机冷头热连接，其特征在于，还包括：低温障板、联动杆、偏心轴、固定支架、传热杆、弹性冷链以及吸盘电磁铁组件。所述驱动电机的输出轴通过偏心轴驱动所述联动杆沿所述低温泵轴向移动，所述联动杆带动所述传热杆沿所述低温泵轴向移动，所述传热杆通过所述齿轮自锁机构带动所述低温障板的角度的调节，所述辐射冷屏依次通过所述弹性冷链、传热杆、齿轮自锁机构向所述低温障板传输冷量。该低温泵具有结构简单、自动化程度高的特点，可实现低温泵的抽速的灵活控制。
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公开(公告)号：CN116221066A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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公开(公告)号：CN113566469B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202110875057.6
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔，所述压缩机通过管道与配气腔相连通，所述配气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与液氮储罐相连通，所述阀组通过管道与预冷腔相连通，所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔，当阀组打开时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通，当阀组关闭时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断，通过引入液氮，对制冷工质先进行辅助降温，使得进入到膨胀腔的气体温度降低，可以提高制冷量效率，提升有效制冷量，并且通过一个配气阀门，同时控制氦气和液氮进入及排出，有效的提供了工作效率，同时能够有效降低液氮的消耗量，有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号：CN115324868A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211145493.9
申请日：2022-09-20
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开抽水汽低温泵，包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件；所述壳体连接所述制冷机，所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台，所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台，所述障板连接所述辐射冷屏的顶部，所述辐射冷屏位于所述壳体的内部，所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置，所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面，所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口，所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果：缩短低温泵再生时间，提高再生效果，避免对前级泵造成不利影响，提高镀膜设备的运行效率；低温泵水汽测试方法，能够优化理论计算参数，提高计算精度。
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