一种低温泵
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107524579A

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201710883572.2

    申请日:2017-09-26

    CPC classification number: F04B37/10 F04B39/00 F04B39/06

    Abstract: 本发明公开了一种低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机,所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座,所述辐射冷屏固定安装于第一冷却台上并与其热连接,所述低温板组件固定安装于第二冷台上并与其热连接,所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形,其筒侧面设有低温泵吸气口,所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕低温泵主轴相对于所述壳体旋转运动。本发明通过对低温板组件和辐射冷屏进行了旋转式设计,提高了低温泵吸附和冷凝的极限和效率。

    一种离子注入机用高性能低温泵
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110925164A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911171819.3

    申请日:2019-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种离子注入机用高性能低温泵,包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板,还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板,所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板,所述低温板表面设有吸附材料,所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口,所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接,所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量,具有结构简易、安装方便的特点。

    一种高吸留极限的低温泵
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107605700A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710884204.X

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种高吸留极限的低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温冷源包括制冷机冷头,所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台,所述辐射冷屏与一级冷却台热连接,所述低温板组件与二级冷却台热连接,所述壳体上设有进气口,其进气方向与制冷机冷头的轴向正交,所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口,实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。

    一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法

    公开(公告)号:CN114739030B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202210224520.5

    申请日:2022-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法,系统包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,滤油器与吸附器通过气路连通,吸附器与进气连接管通过气路连通,进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通,平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通,吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀;本发明的优点在于:有效降低系统振幅,避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。

    一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法

    公开(公告)号:CN113686059A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110875079.2

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器,所述压缩机通过管道与储气腔相连通,所述储气腔的内腔安装有阀组,所述阀组包括固定阀、旋转阀,所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔,且所述排气孔均与旋转阀相连通,所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔,所述阀组通过管道与一级回热器相连通,所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器,所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通,有效的提高了制冷效率,同时提升了有效的制冷量,大大提高了装置的实用性,取消了外部的预冷部件,结构上整合成一套设备,更加紧凑。

    耐热辐射的大抽速低温泵
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112392687A

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN202011300645.9

    申请日:2020-11-18

    Abstract: 本发明涉及真空设备领域,具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵,包括制冷机,制冷机上安装有壳体,制冷机的冷头位于壳体中;所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板;所述壳体的开口处设置有前置挡板,自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收,自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于:通过本方案的前置挡板结构,可基本实现热辐射和气体分子分离的目的,从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射,并且由于气体运动通道相对顺畅,可以实现较高的气体抽速,从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。

Patent Agency Ranking