公开(公告)号：CN115609388A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202211218747.5

申请日：2022-09-29

Applicant: 季华实验室

Inventor： 张鑫 ,  张乐 ,  尹小林 ,  张斌智 ,  陈太喜 ,  殷龙海

IPC: B24B7/17 ,  B24B7/22 ,  B24B49/12 ,  B24B51/00 ,  B24B47/12 ,  B24B55/00 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明公开一种用于监测单晶碳化硅的监测装置及监测方法，该用于监测单晶碳化硅的监测装包括：连接件，磨盘，两个工业相机和控制器；磨盘与连接件连接，磨盘用于对单晶碳化硅进行打磨；两个工业相机分别与连接件连接，两个工业相机用于采集单晶碳化硅的图像；控制器根据工业相机的信息控制磨盘停止打磨和/或输出报警信号。本发明技术方案中，通过两个工业相机，采集单晶碳化硅的图像，控制器根据工业相机的信息控制磨盘停止打磨和/或输出报警信号。通过两个工业相机对单晶碳化硅的打磨进行监测，任何一个工业相机识别到单晶碳化硅破裂时，控制输出报警信号，人员可以去除破裂的单晶碳化硅，防止对打磨设备造成损坏，同时能够保证安全性。