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公开(公告)号：CN1582392A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN02822085.4
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/84
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/045
Abstract: 本发明提供保持装置，其设有：放置玻璃基板(1)的保持本体(4)；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10)；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。
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公开(公告)号：CN102152966B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110033659.3
申请日：2004-04-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
CPC classification number: H01L21/68778 , B65G49/064 , B65G49/065 , H01L21/6838
Abstract: 一种基板上浮装置，在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。
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公开(公告)号：CN102338753A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110196778.0
申请日：2011-07-13
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/89
Abstract: 本发明提供一种能够准确地检查大型基板的基板检查装置及基板检查方法。本发明的基板检查装置(1)包括：输送台(131)，其以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个浮板(132)，该基板输送面用于支承基板(W)；透过照明件(138)，其配置在比基板输送面靠下方的位置，并用于自相邻的浮板(132)之间对基板(W)进行照明；光学单元(16)，其能够在输送台(131)的上方相对于该输送台(131)水平移动；以及移动机构135a和135b，其用于使输送台(131)上的基板(W)沿宽度方向移动预定距离。
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公开(公告)号：CN100485369C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN02822085.4
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/84
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/045
Abstract: 本发明提供保持装置，其设有：放置玻璃基板(1)的保持本体(4)；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10)；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。
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公开(公告)号：CN101140245A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710149202.2
申请日：2007-09-06
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
Abstract: 本发明涉及外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板(2)载置在框状的载物台(3)上，进行基板的检查。在该基板保持装置中，独立于设置在载物台(3)的开口部上的棂条(17)和固定销(17a)，设置支撑基板的支撑销(25)和固定支撑销(25)的支撑杆(24)，将支撑杆(24)连接在一对输送器的传送带上，使其相对于基板进退。在宏观检查时，支撑杆和支撑销保持在隐藏于载物台的框状部(3b)的退避位置，在微观检查时，支撑杆和支撑销从背面支撑基板的缺陷(K)或者其附近。根据本发明，既可以抑制微观检查中基板的振动，又不会妨碍宏观检查。
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公开(公告)号：CN1906476A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001591.3
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。
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公开(公告)号：CN202421084U
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201220005773.5
申请日：2012-01-04
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/89
Abstract: 本实用新型提供基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
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