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公开(公告)号：CN101960717A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200880127827.1
申请日：2008-03-04
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/173 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明的压电薄膜谐振器具有：基板(1)；中间层(7)，其配置在基板(1)上，由绝缘体形成；下部电极(3)，其配置在中间层(7)上；压电膜(4)，其配置在下部电极(3)上；以及上部电极(5)，其配置在隔着压电膜(4)与下部电极(3)相对向的位置处，在下部电极(3)与上部电极(5)相对向的谐振部(8)的区域内，在基板(1)和中间层(7)上，或在下部电极(3)与中间层(7)之间形成有空隙(6)，空隙(6)的区域包括在谐振部(8)的区域内。根据该结构，能够抑制振动能量从谐振区域散逸到基板，从而能够提高品质因数。
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公开(公告)号：CN105610407B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201510765123.9
申请日：2015-11-11
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。一种压电薄膜谐振器包括：基板；位于基板上的压电膜；下电极和上电极，该下电极和上电极隔着压电膜的至少一部分彼此面对；以及插入压电膜中的插入膜，该插入膜位于下电极和上电极隔着压电膜彼此面对的谐振区内的外周区域的至少一部分中，并且不位于谐振区的中心区域中，其中，谐振区内的被插入所述插入膜的第一区域中的压电膜和插入膜的总膜厚度与不插入所述插入膜的第二区域中的压电膜的膜厚度之差小于插入膜的膜厚度。
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公开(公告)号：CN107493088A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710379794.0
申请日：2017-05-25
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 声波器件。一种声波器件，该声波器件包括：压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器连接在第一节点与第二节点之间；以及谐振电路，该谐振电路与所述压电薄膜谐振器在所述第一节点与所述第二节点之间并联连接，并且具有满足条件2×fa×0.92≤f0的谐振频率f0，其中，fa表示该压电薄膜谐振器的反谐振频率。
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公开(公告)号：CN103312288B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310079212.9
申请日：2013-03-13
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/187 , H03H9/02015 , H03H9/02102 , H03H9/0222 , H03H9/02228 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/54 , H03H9/584
Abstract: 一种声波器件，其包括：由含有二价元素和四价元素、或者二价元素和五价元素的氮化铝膜制成的压电膜；以及激发经由压电膜传播的声波的电极。
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公开(公告)号：CN102468818B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201110339535.8
申请日：2011-11-01
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波器件，该声波器件包括：第一压电薄膜谐振器，其包括第一下电极、第一上电极和夹在第一下电极和第一上电极之间的第一压电膜；去耦合器膜，其设置在第一上电极上；以及第二压电薄膜谐振器，其设置在去耦合器膜上，并包括第二下电极、第二上电极和夹在第二下电极和第二上电极之间的第二压电膜，其中第一压电膜和第二压电膜包括氮化铝，并包括增大氮化铝的压电常数的元素。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102931942B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210282502.9
申请日：2012-08-09
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02102 , H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/564 , H03H9/582 , H03H9/706 , H03H2003/021 , H03H2003/0407 , H03H2003/0442
Abstract: 本发明提供了声波器件。一种声波器件包括：基板；形成在所述基板上的下电极；形成在所述下电极上的至少两个压电膜；位于所述至少两个压电膜之间的绝缘膜；以及形成在所述至少两个压电膜上的上电极，其中，在所述下电极和所述上电极彼此面对的区域中，所述至少两个压电膜中的最上面的压电膜的外周比所述上电极的外周更靠内。
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公开(公告)号：CN104811157A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510034277.0
申请日：2015-01-23
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H9/706 , H03H2003/0407
Abstract: 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。压电薄膜谐振器(100、200、400、500)包括：基板(10)；压电膜(14)，其设置在所述基板上；下电极(12)和上电极(16)，其彼此相对，以在所述下电极(12)和所述上电极(16)之间设置所述压电膜的至少部分；以及插入膜(28)，其被插入到谐振区(50)中的所述压电膜内，在所述谐振区(50)中，所述压电膜的至少所述部分被设置在所述下电极和所述上电极之间，所述插入膜的与所述谐振区中的外围区(52)对应的至少部分(28b)比所述插入膜的与所述谐振区中的中心区(54)对应的部分(28a)厚。
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公开(公告)号：CN104242862A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410255261.8
申请日：2014-06-10
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/02102 , H03H9/173 , H03H9/175
Abstract: 本发明提供了一种声波装置。该声波装置包括：压电膜，其位于基板上；下电极和上电极，其隔着压电膜而彼此面对；温度补偿膜，其位于下电极和上电极中的至少一个的与压电膜相反的一侧的表面上，并且具有符号与压电膜的弹性常数温度系数相反的弹性常数温度系数；以及附加膜，其位于温度补偿膜的与压电膜相反的一侧的表面上，并且具有大于温度补偿膜的声学阻抗的声学阻抗。
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公开(公告)号：CN101960717B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN200880127827.1
申请日：2008-03-04
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/173 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明的压电薄膜谐振器具有：基板(1)；中间层(7)，其配置在基板(1)上，由绝缘体形成；下部电极(3)，其配置在中间层(7)上；压电膜(4)，其配置在下部电极(3)上；以及上部电极(5)，其配置在隔着压电膜(4)与下部电极(3)相对向的位置处，在下部电极(3)与上部电极(5)相对向的谐振部(8)的区域内，在基板(1)和中间层(7)上，或在下部电极(3)与中间层(7)之间形成有空隙(6)，空隙(6)的区域包括在谐振部(8)的区域内。根据该结构，能够抑制振动能量从谐振区域散逸到基板，从而能够提高品质因数。
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公开(公告)号：CN102273073B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN200980154141.6
申请日：2009-01-09
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/584 , H03H9/0095 , H03H9/542 , H03H9/60 , H03H9/706
Abstract: 滤波元件具有：相互级联连接的多个层叠滤波器(101、102)，各个层叠滤波器具有上下层叠的多个压电薄膜谐振器，各压电薄膜谐振器具有压电膜和上下夹着所述压电膜的一对第1电极；以及电容器(40)，其连接在多个层叠滤波器之中前级的层叠滤波器(101)的输入端子与多个层叠滤波器之中后级的层叠滤波器(102)的输入端子之间，所述前级和所述后级的层叠滤波器的输入端子所连接的所述压电薄膜谐振器(10a)和(20b)的激振方向相互反转。
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