公开(公告)号：CN103053111A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180037548.8

申请日：2011-04-27

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 松田聪 ,  松田隆志 ,  三浦道雄

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/131 ,  H03H9/174

Abstract: 本发明涉及一种弹性波装置，该弹性波装置具备压电基板20、设于压电基板20上的电极22和氧化硅膜26，该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子，并且以覆盖设于压电基板20上的梳型电极22的方式来进行设置；或者，本发明的弹性波装置具备压电膜34、夹着压电膜34进行设置的电极32、36和氧化硅膜38，该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子，并且被设置在夹着压电膜34的下部电极32与上部电极36相向的区域。

公开(公告)号：CN101820262A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200910221924.3

申请日：2009-11-23

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 三浦道雄 ,  藁科卓 ,  松田隆志 ,  井上将吾 ,  井上和则 ,  松田聪

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/00

CPC classification number: H03H3/10 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/25 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005

Abstract: 本发明提供声波装置及其制作方法、双工器、通讯模块、通讯设备。一种声波装置，其包括压电衬底、布置在压电衬底上的交叉指型电极、安置在交叉指型电极之间的第一电介质元件、覆盖交叉指型电极和第一电介质元件的第二电介质元件以及形成在第一电介质元件上的调整元件。调整元件由比重大于第一电介质元件的比重和第二电介质元件的比重的材料形成。