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公开(公告)号：CN107218896B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201710616084.5
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的方法。该方法基于激光诱导击穿光谱技术结合激光诱导荧光技术测量真空离子镀膜技术及等离子体喷涂镀膜技术的沉积膜厚膜厚与均匀性。该发明是一种微损接近无损的检测方法，能够实现对镀膜样品膜厚10nm量级测量，镀膜表面均匀性μm量级分辨测量。尤其是该方法还是一种可以实时、原位、在线、无接触与主动式的测量方法，且不会对镀膜过程有干扰，易于操作，实时分析。本发明主要用于真空离子镀，比如真空离子镀物理、化学气相沉积、等离子体喷涂等领域，不排除应用于其它的、具有相近技术特征的薄膜或者涂层沉积技术领域。
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公开(公告)号：CN107219214A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710616070.3
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: G01N21/718 , G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置。本装置使用激光诱导击穿光谱结合一种二级引出场飞行时间质谱(TOF)的定量分析结构与方法。实现高探测灵敏度、实时、快速、高精度、无接触式、多元素同时检出且样品无需预处理的定量分析装置。其中该装置中的双波长激光，便于再次电离光碎片及分子团簇，提高质谱信号稳定性，增强激光等离子体发射光谱信号；该装置中二级引出场，便于提高TOF质谱分辨率以及优化信号；该装置中的光谱收集系统，可以提高收集等离子体发射光耦合到光纤的能力，并且可以折叠光路，极其有利于仪器集成化，小型化，便于仪器商品化。
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公开(公告)号：CN107218896A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710616084.5
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: G01B11/0683 , G01N21/63
Abstract: 本发明公开了一种测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的方法。该方法基于激光诱导击穿光谱技术结合激光诱导荧光技术测量真空离子镀膜技术及等离子体喷涂镀膜技术的沉积膜厚膜厚与均匀性。该发明是一种微损接近无损的检测方法，能够实现对镀膜样品膜厚10nm量级测量，镀膜表面均匀性μm量级分辨测量。尤其是该方法还是一种可以实时、原位、在线、无接触与主动式的测量方法，且不会对镀膜过程有干扰，易于操作，实时分析。本发明主要用于真空离子镀，比如真空离子镀物理、化学气相沉积、等离子体喷涂等领域，不排除应用于其它的、具有相近技术特征的薄膜或者涂层沉积技术领域。
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公开(公告)号：CN102519918B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201110404691.8
申请日：2011-12-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N21/63
Abstract: 本发明公开了一种基于激光诱导击穿光谱技术的地沟油快速检测的方法，包括以下步骤：步骤A.激光输出系统的激光束通过透镜聚焦于被测油脂油面，使被测油脂油面形成等离子体羽并发光；步骤B.通过信号收集系统，将被测油脂的激光诱导击穿光谱LIBS光谱信号，传输给光谱检测系统；步骤C.光谱检测系统将测到的光谱数据与数据库内各元素的激光诱导击穿光谱LIBS光谱数据进行比对，根据谱线位置及谱线强度解析出被测油脂的金属元素种类和含量信息，以及碳、氮、氧及其化合物成分含量相关性信息的分析数据；步骤D.计算机系统将分析数据与数据库中正常油脂样品数据比对后就可以判断被测油脂样品的优劣。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103884649B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410109122.4
申请日：2014-03-21
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明涉及激光烧蚀光谱分析技术领域，公开了一种双脉冲激光诱导击穿光谱分析装置及方法，装置包括：控制系统，环境探测模块，包含于恒温机箱内部的双脉冲激光发射模块、光谱采集分析模块，以及设置在恒温机箱外部的摄像头模块；所述控制系统分别与环境探测模块、摄像头模块电连接。本发明能够在月球表面实现原位、在线、远程遥控条件下的月球表面矿样、土壤成分进行快速的精确分析，并且可以进行全元素的深度分析，同时对感兴趣的各种元素进行三维分析成像；此外，双脉冲激光诱导击穿光谱技术的应用保证探测系统在极低气压（近真空）环境下的较高探测灵敏度。
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公开(公告)号：CN207396353U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201720911911.9
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置。本装置使用激光诱导击穿光谱结合一种二级引出场飞行时间质谱(TOF)的定量分析结构与方法。实现高探测灵敏度、实时、快速、高精度、无接触式、多元素同时检出且样品无需预处理的定量分析装置。其中该装置中的双波长激光，便于再次电离光碎片及分子团簇，提高质谱信号稳定性，增强激光等离子体发射光谱信号；该装置中二级引出场，便于提高TOF质谱分辨率以及优化信号；该装置中的光谱收集系统，可以提高收集等离子体发射光耦合到光纤的能力，并且可以折叠光路，极其有利于仪器集成化、小型化，便于仪器商品化。
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公开(公告)号：CN207439570U
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201721400765.X
申请日：2017-10-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K11/20
Abstract: 本实用新型公开了一种原位在线实时无接触式测量面壁材料表面温度的装置，包括：数据采集分析模块A1，其功能有(1)光谱数据采集；(2)分析光谱数据并得出样品温度。时序控制模块A2，其功能有(1)控制激光器时序；(2)时序控制示波器数据采集；(3)时序调控光谱模块采集；激光A3，其功能为产生激光等离子体；烧蚀激光能量调控模块A4，其功能为在光斑能量空间分布保持不变的情况下调控烧蚀激光能量。通过本实用新型的装置与数据采集与分析计算机的分析方法联合使用，能够实现高空间(mm量级)及深度分辨、快速、无接触、主动式的面壁部件温度测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207396352U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201720911884.5
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析设备。通过使用本设备，并结合相应的软件及算法，可实现激光诱导解吸附技术结合热脱附质谱技术，对面壁材料燃料滞留高空间分辨(μm量级)、高深度分辨(nm到mm量级)、无损的定量分析。其检出限低、探测灵敏度高、样品无需预处理，可快速(s量级)分析被测样品。此外，通过使用分压校准法，可以将该方法用于定量分析其他气体分子和有机分子。
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公开(公告)号：CN207487604U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201720911904.9
申请日：2017-07-26
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的设备。主要包括以下模块：数据采集分析模块，其功能有LIBS-LIF光谱数据采集；分析光谱数据判断沉积膜厚度；时序控制模块，其功能有控制两个激光器时序；时序控制示波器数据采集；时序调控LIBS-LIF发射光谱模块采集。LIBS-LIF双激光，其功能为产生并增强激光等离子体发射；烧蚀激光能量调控模块，其功能为在光斑能量空间分布保持不变的情况下调控烧蚀激光能量；烧蚀激光能量测量模块；激光能量探头；真空等离子体喷涂或真空离子镀沉积膜；基底材料；激光等离子体光谱收集模块；门宽可调控的ICCD光谱仪。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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