公开(公告)号：CN101912833A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN201010266807.1

申请日：2007-02-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 吉田顺一 ,  增市干雄 ,  高村幸宏 ,  上野博之 ,  川越理史 ,  松家毅

IPC: B05B13/04 ,  B05B15/08 ,  B05B12/08 ,  B05B15/04 ,  B05D7/00 ,  B05D3/00 ,  H05B33/10

Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。

公开(公告)号：CN100455362C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200510129487.4

申请日：2005-12-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川越理史 ,  增市干雄 ,  高村幸宏 ,  吉田顺一

IPC: B05C5/00 ,  B05D3/00 ,  H05B33/10 ,  B05C9/14

Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。

公开(公告)号：CN1785533A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510129487.4

申请日：2005-12-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川越理史 ,  增市干雄 ,  高村幸宏 ,  吉田顺一

IPC: B05C5/00 ,  B05D3/00 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。