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11.

发明公开
用于制造有机EL显示装置的涂敷装置失效

公开(公告)号：CN1785533A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510129487.4

申请日：2005-12-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川越理史 , 增市干雄 , 高村幸宏 , 吉田顺一

IPC: B05C5/00 , B05D3/00 , H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。

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