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公开(公告)号：CN105027676A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201480011841.0
申请日：2014-03-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C16/458 , H01L51/0024 , H01L51/0026 , H01L51/0029 , H01L51/5228 , H01L51/5234 , H01L51/525 , H01L51/56
Abstract: 提供元件制造方法以及元件制造装置，高效率地制造元件。首先，准备包含基材(41)以及沿基材(41)的法线方向延伸的突起部(44)的中间制品(50)。接着，在调整为真空环境的层叠室(20a)中将盖材(25)从突起部(44)侧连续层叠到中间制品(50)上形成层叠体(51)。此后，将层叠体(51)从层叠室(20a)向调整为比真空环境压力高的第1压力的第1压力室(21a)输送。接着，将层叠体(51)从第1压力室(21a)向调整为真空环境的分离室(22a)输送，将层叠体(51)分离为中间制品(50)以及盖材(25)。在通过与输送层叠体(51)的方向垂直的面将层叠体(51)假想地截断的情况下的层叠体(51)的截面上，中间制品(50)与盖材(25)之间的空间从周围密闭。
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公开(公告)号：CN111172496B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202010076403.X
申请日：2016-02-03
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够实现轻量化且可形成比以往更高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模的制造方法、可制造与比以往更高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。所述方法具有如下的工序：准备层积有设有缝隙的金属掩模和树脂板的带树脂板的金属掩模；从所述金属掩模侧照射激光，在所述树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，在形成所述开口部的工序中，通过使用设有开口区域和衰减区域的激光用掩模，利用在所述开口区域通过的激光在树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，并且利用在所述衰减区域通过的激光在所述树脂板的开口部周围形成薄壁部，所述开口区域与所述开口部对应，所述衰减区域使照射的激光的能量衰减。
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公开(公告)号：CN111172496A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010076403.X
申请日：2016-02-03
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够实现轻量化且可形成比以往更高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模的制造方法、可制造与比以往更高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。所述方法具有如下的工序：准备层积有设有缝隙的金属掩模和树脂板的带树脂板的金属掩模；从所述金属掩模侧照射激光，在所述树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，在形成所述开口部的工序中，通过使用设有开口区域和衰减区域的激光用掩模，利用在所述开口区域通过的激光在树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，并且利用在所述衰减区域通过的激光在所述树脂板的开口部周围形成薄壁部，所述开口区域与所述开口部对应，所述衰减区域使照射的激光的能量衰减。
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公开(公告)号：CN111088476A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN202010076410.X
申请日：2016-02-03
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够实现轻量化且可形成比以往更高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模的制造方法、可制造与比以往更高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。所述方法具有如下的工序：准备层积有设有缝隙的金属掩模和树脂板的带树脂板的金属掩模；从所述金属掩模侧照射激光，在所述树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，在形成所述开口部的工序中，通过使用设有开口区域和衰减区域的激光用掩模，利用在所述开口区域通过的激光在树脂板上形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部，并且利用在所述衰减区域通过的激光在所述树脂板的开口部周围形成薄壁部，所述开口区域与所述开口部对应，所述衰减区域使照射的激光的能量衰减。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105474752B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201480046690.2
申请日：2014-08-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L51/50
CPC classification number: H01L51/5212 , H01L27/3244 , H01L27/3246 , H01L51/5228 , H01L51/5246 , H01L2251/5315 , H01L2251/55
Abstract: 能够充分防止利用激光除去的有机层的粉尘等向像素区域飞散，抑制显示特性下降。一种顶部发射型有机EL显示装置，其特征在于，具有：基板、像素电极、辅助电极、以覆盖上述像素电极的边缘部分的方式在上述像素电极之间形成的且具有开口部使得上述辅助电极露出的绝缘层、在上述像素电极上形成且由多个有机层构成的、至少具有发光层的有机EL层、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的上述有机层、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的作为上述有机层的开口部的接触部、以及透明电极层，上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间的上述绝缘层的宽度为6μm以上，上述透明电极层通过上述接触部而与上述辅助电极电连接。
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公开(公告)号：CN105409330B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201480041926.3
申请日：2014-07-31
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H05B33/10 , B23K26/142 , H01L51/05 , H01L51/40 , H01L51/50
CPC classification number: H01L51/0016 , B23K26/0006 , B23K26/352 , H01L51/5246 , H01L51/525
Abstract: 提供元件制造方法，能够高效地覆盖基材中的被激光照射的部分。中间制品包含基材以及设于所述基材上的多个突起部。准备具有第1面的盖材，并使第1面朝向中间制品的突起部侧。在盖材按压工序中，在盖材的第1面形成有以朝向中间制品突出的方式弯曲的弯曲形状，并且，盖材中的形成有弯曲形状的部分紧贴在中间制品的一部分上。
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公开(公告)号：CN105027676B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480011841.0
申请日：2014-03-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C16/458 , H01L51/0024 , H01L51/0026 , H01L51/0029 , H01L51/5228 , H01L51/5234 , H01L51/525 , H01L51/56
Abstract: 提供元件制造方法以及元件制造装置，高效率地制造元件。首先，准备包含基材(41)以及沿基材(41)的法线方向延伸的突起部(44)的中间制品(50)。接着，在调整为真空环境的层叠室(20a)中将盖材(25)从突起部(44)侧连续层叠到中间制品(50)上形成层叠体(51)。此后，将层叠体(51)从层叠室(20a)向调整为比真空环境压力高的第1压力的第1压力室(21a)输送。接着，将层叠体(51)从第1压力室(21a)向调整为真空环境的分离室(22a)输送，将层叠体(51)分离为中间制品(50)以及盖材(25)。在通过与输送层叠体的情况下的层叠体(51)的截面上，中间制品(50)(51)的方向垂直的面将层叠体(51)假想地截断
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公开(公告)号：CN105519237A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480046866.4
申请日：2014-08-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H05B33/10 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/04 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/26
CPC classification number: H01L51/5228 , H01L51/0014 , H01L51/0023 , H01L51/0043 , H01L51/5212 , H01L51/5234 , H01L51/5253 , H01L51/56 , H01L2251/5315
Abstract: 本发明的主要目的在于提供一种顶部发射型有机电致发光显示装置的制造方法，其使用树脂膜等具有挠性的盖材，使有机EL层侧基板与盖材之间的空间为减压状态，然后，调节盖材的与有机EL层侧基板相反侧的空间的压力从而使有机EL层侧基板与盖材密合，此时保持上述有机EL层侧基板与盖材之间的空间的减压状态而维持有机EL层侧基板与盖材的密合性，防止利用激光除去的辅助电极上的有机层向像素区域飞散，能够抑制显示特性下降。在如上所述的顶部发射型有机电致发光显示装置的制造方法中，使用具有透氧率为100cc/m2·天以下的阻隔性的树脂膜作为盖材。
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公开(公告)号：CN105474752A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480046690.2
申请日：2014-08-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/5212 , H01L27/3244 , H01L27/3246 , H01L51/5228 , H01L51/5246 , H01L2251/5315 , H01L2251/55
Abstract: 能够充分防止利用激光除去的有机层的粉尘等向像素区域飞散，抑制显示特性下降。一种顶部发射型有机EL显示装置，其特征在于，具有：基板、像素电极、辅助电极、以覆盖上述像素电极的边缘部分的方式在上述像素电极之间形成的且具有开口部使得上述辅助电极露出的绝缘层、在上述像素电极上形成且由多个有机层构成的、至少具有发光层的有机EL层、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的上述有机层、在从上述绝缘层的开口部露出的上述辅助电极上形成的作为上述有机层的开口部的接触部、以及透明电极层，上述接触部和与上述接触部相邻的上述像素电极之间的上述绝缘层的宽度为6μm以上，上述透明电极层通过上述接触部而与上述辅助电极电连接。
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