一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114279551A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111562112.2

    申请日:2021-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法,属于光纤传感器技术领域。本发明解决了现有光纤声压传感器由于初始腔长相位差不准确,进而导致传感器解调效果不好的问题。本发明传感器包括两个光纤组件和夹层结构,夹层结构为SOI‑空气‑硅的夹层结构,具体的支撑结构层为框架结构与第二Si基层形成第一方形槽,SiO2层和第一Si层上刻蚀有方形通孔,该方形通孔与SOI衬底层构成第二方形槽,两个方形槽连通在夹层结构内形成密封腔。两个方形槽的存在使传感器具有两个长度不等的F‑P腔,继而使两路干涉信号相位差保持恒定,从而获得两路正交信号,后续结合双F‑P腔正交测量法,实现对声压信号的精准测量。

    基于量子进化粒子群算法的高光谱图像波段选择方法

    公开(公告)号:CN110309822A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201910528230.8

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本发明涉及一种基于量子进化粒子群算法的高光谱图像波段选择方法,属于图像处理领域。包括输入待选择波段的高光谱图像,设定种群的规模、维数、最大迭代次数;将每个粒子占据的位置由单位空间映射到优化问题的解空间,选取类间可分性和最佳指数两者结合作为适应度函数;将变异概率引入量子进化粒子群算法,采用最大似然法对输出最优波段组合图像进行分类,计算总体分类精度,计算相关性采用波段组合波段间的平均相关性。本发明将量子进化算法和粒子群算法结合,克服了易陷入局部最优的缺点,量子进化粒子群算法具有更快的收敛速度,缩短了算法的运行时间,在进行波段选择时,算法更加稳定且分类精度高,应用前景广阔。

    一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114279551B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202111562112.2

    申请日:2021-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法,属于光纤传感器技术领域。本发明解决了现有光纤声压传感器由于初始腔长相位差不准确,进而导致传感器解调效果不好的问题。本发明传感器包括两个光纤组件和夹层结构,夹层结构为SOI‑空气‑硅的夹层结构,具体的支撑结构层为框架结构与第二Si基层形成第一方形槽,SiO2层和第一Si层上刻蚀有方形通孔,该方形通孔与SOI衬底层构成第二方形槽,两个方形槽连通在夹层结构内形成密封腔。两个方形槽的存在使传感器具有两个长度不等的F‑P腔,继而使两路干涉信号相位差保持恒定,从而获得两路正交信号,后续结合双F‑P腔正交测量法,实现对声压信号的精准测量。

    带斩波稳定的适用于混合型ADC结构的ΣΔADC

    公开(公告)号:CN109787633B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN201811582842.7

    申请日:2018-12-24

    Inventor: 刘云涛 于蕾 随鑫

    Abstract: 带斩波稳定的适用于混合型ADC结构的ΣΔADC,属于CMOS集成电路设计技术领域。由输入信号采样部、参考电压采样部、积分信号建立部、比较器和计数器组成。本发明采用带斩波稳定的ΣΔADC结构,对内部的整个模拟信号通路进行斩波,有效地消除失调和低频噪声,获得极低的误差和漂移。本发明在传统的采样基础上,增加了对输入信号的采样控制开关,并在传统的双相不交叠时钟clk1和clk2基础上,增加两相不交叠时钟sel_in和sel_vcm;clk1和clk2的周期数为2M+1,M是ADC的数字输出位数,sel_in和sel_vcm的周期数为2M。在完成一次模数转换过程中对输入信号的积分次数为2M次,对参考电压的积分次数为2M+1次,使得转换完成后积分器的输出范围满足后续SAR ADC输入范围的要求,适用于混合型ADC电路中。

    分振幅点干涉共路离轴数字全息测量装置及方法

    公开(公告)号:CN116359178A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310470657.3

    申请日:2023-04-27

    Abstract: 本发明公开了一种分振幅点干涉共路离轴数字全息测量装置及方法,波长为λ的光源、第一平面反射镜、显微物镜、第一透镜、分光棱镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、第二透镜、孔阵列、第三透镜、CCD相机和计算机;光源发出光束经过第一平面反射镜后到达被测样品,调制上物体信息后的光波经显微物镜扩束,后由第一透镜准直从而形成平面光,随后经过将光束一分为二的分光棱镜,随后两束光分别经过第二平面反射镜和第三平面反射镜,随后两束光依次经过第二透镜、孔径阵列和第三透镜,随后由CCD相机的感光面接收,CCD相机的图像信号输出端连接计算机。本发明具有视场利用率高、样本制作简单、畸变信息较小和全息图质量高的优点。

    一种基于导数相位光流法的结构振动视频测量方法及系统

    公开(公告)号:CN115841504A

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202211558466.4

    申请日:2022-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种基于导数相位光流法的结构振动视频测量方法及系统,利用相机对被测结构的振动过程以满足奈奎斯特采样率的帧率进行视频采集,获取富含振动信息的时序变化图像序列,同时作为实部序列;利用二维一阶导数算子逐帧与每一图像序列做二维卷积,获取解析信号的虚部序列;利用复数结合算子将实部序列与虚部序列一一对应结合,获取富含相位信息的解析序列;利用四象限反正切运算操作上述解析序列,获取富含相对位移变化场信息的相邻帧相位变化;利用幅值滤波去噪方法处理得到去噪后的相位变化序列;利用计算所得转换比例因子以及快速傅里叶变换,得到被测结构的实际振动位移以及振动频率。本发明具有更快的速度、更高的精度和抗噪性能。

    一种基于空间时向除法的结构振动视频测量方法及系统

    公开(公告)号:CN115452125A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211134856.9

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本发明提出一种基于空间时向除法的结构振动视频测量方法及系统。涉及结构振动视频测量技术领域,包括利用相机采集获取结构振动的时序变化图像序列;利用空频转换法处理时序变化图像序列,获取第一频域空间复数特征序列;利用空间时向除法处理第一频域空间复数特征序列相邻帧,获取第二频域空间复数特征序列;利用四象限反正切运算操作第二频域空间复数特征序列,获取富含相对位移变化场信息的相邻帧相位变化;计算被测物转换比例因子;计算时序上的结构振动的实际幅值;计算被测结构振动的频率。本发明无需预处理操作,避免了空频域转换过程复杂耗时的解包裹操作,同时准确的去除背景噪声,从而鲁棒性高,抗噪声性能强,运行速率快。

    一种温-压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器

    公开(公告)号:CN118408596A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410497882.0

    申请日:2024-04-24

    Abstract: 一种温‑压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器,涉及光纤传感技术领域,解决高温环境与复杂流场等恶劣环境下传感器多参数实时测量问题,而提供的一种温‑压双参数动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器。传感器包括单模光纤、空腔和蓝宝石膜片;所述蓝宝石膜片上刻蚀有二维光子晶体阵列微结构,用于实现GMR反射镜;所述单模光纤用于将光线通过所述空腔射入所述二维光子晶体阵列微结构上;所述二维光子晶体阵列微结构用于将光线反射。本发明适用于高温复杂流体的物理量监测。

    基于奥米亚棕蝇的非本征型光纤FP仿生传感器及加工方法

    公开(公告)号:CN118225228A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410349263.7

    申请日:2024-03-26

    Abstract: 一种基于奥米亚棕蝇的非本征型光纤FP仿生传感器及加工方法,涉及光纤传感技术领域,传感器包括仿生膜片、金属外壳和光纤,所述金属外壳为底面厚侧面薄结构,所述金属外壳任一侧面上设有凹槽,所述膜片固定在所述凹槽中;在所述金属外壳内插入两根光纤,所述光纤的端面与所述膜片构成珐珀腔;膜片包括硅基基座和两个基于奥米亚棕蝇的仿生振膜,所述仿生振膜与所述硅基底座中间有空气缝隙,所述仿生振膜上各设有一个光子晶体结构,所述光子晶体结构由阵列设置的规则二维小孔组成;该传感器采用带孔式的光纤仿生MEMS膜片,并在膜片上形成二维等间隔的孔状结构制造出光子晶体效应,不仅可以减小噪声、提高灵敏度,还可以提高传感器的耐久性和寿命。

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