公开(公告)号：CN104296692A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410616947.5

申请日：2014-11-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王红婷 ,  李梦周

IPC: G01B11/245

Abstract: 基于差动结构光的测量微观光滑曲率样品的装置和方法属于光学显微成像领域。本发明利用激光器经过准直镜出射的平行光，再经过一维正弦光栅得到经过调制的条纹，将条纹经过二向色镜、管镜和物镜成像到表面镀膜的光滑自由曲面样品上。使样品表面出射的信号通过滤光片，由制冷CCD收集。对每个被测平面，令正弦光栅横向移动三次，完成一个平面的探测后，载物台沿轴向移动，令CCD下一次拍采集。最后将每个轴向位置得到的二维数据进行解调运算。采用发明装置与方法测量微观光滑大曲率样品表面形貌。

公开(公告)号：CN104296660A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410617223.2

申请日：2014-11-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王红婷 ,  刘辰光

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 基于结构光方法的微观光滑自由曲面样品测量装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、二向色镜、物镜、样品、滤光片、第二管镜、制冷CCD和载物台；利用激光器经过准直镜出射的平行光，再经过一维正弦光栅得到经过调制的条纹，将条纹经过二向色镜、管镜和物镜成像到表面镀膜的光滑自由曲面样品上；使样品表面出射的信号通过滤光片，由制冷CCD收集；对每个被测平面，令正弦光栅横向移动三次，完成一个平面的探测后，载物台沿轴向移动，令CCD下一次拍采集；最后将每个轴向位置得到的二维数据进行解调运算；本发明装置与方法测量微观光滑自由曲面，可以测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。