面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法

    公开(公告)号:CN105606012A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201511009094.X

    申请日:2015-12-28

    CPC classification number: G01B5/20

    Abstract: 面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法,属于光学曲面测量技术领域。本发明是为了解决传统的误差分离测量方法采样间隔大,并不适用于表面起伏较大的光学镜面的问题。它通过直线滑台和位移传感器实现,使直线滑台在Z轴导轨方向的位置固定,使安装于机床主轴上的光学曲面沿X轴导轨的方向移动,在光学曲面的移动过程中,通过位移传感器沿X轴导轨方向测量光学曲面面形;将测得的N个光学曲面面形测量数据采用误差分离方法进行分离,获得光学曲面的真实面形误差与机床的直线度误差。本发明用于面形起伏较大的光学曲面在位测量。

    微结构化大磨粒金刚石砂轮的制造方法

    公开(公告)号:CN103465187A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310455451.X

    申请日:2013-09-29

    Abstract: 微结构化大磨粒金刚石砂轮的制造方法,它涉及一种金刚石砂轮的制造方法。本发明的目的是为解决大磨粒金刚石砂轮不能直接用于精密磨削的问题。本发明方法可以提高大磨粒金刚石砂轮的磨削加工精度。所述方法以脉冲激光作为加工工具,以大磨粒金刚石砂轮为加工对象,制造方法分为两个步骤:一,使激光束平行于待加工砂轮工作表面,沿砂轮工作表面移动激光焦点,对砂轮工作表面的金刚石磨粒突出部分进行截断加工,从而减小砂轮回转误差至20微米以内。二,使激光束垂直于加工后的金刚石砂轮工作表面,通过控制金刚石砂轮与激光焦点的相对运动轨迹在砂轮工作表面上加工出三维微沟槽矩阵结构。本发明用于加工大磨粒砂轮的工作表面。

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