公开(公告)号：CN113720279A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202110876134.X

申请日：2021-07-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  石剑 ,  李粤超 ,  陶子曦 ,  武慧林

IPC: G01B11/27 ,  G01B11/26

Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及基于空间光调制的纳弧度量级三维角度测量方法与装置；该装置由半导体激光光源、凸透镜、多狭缝光阑、分光镜、偏振分光镜、转折镜、透射式空间光调制器、准直物镜组、面阵CCD、四象限位置探测器、固定平面反射镜以及反射靶标组成；该方法赋予反射靶标在光轴方向上的不对称性，使测量光束携带被测物俯仰角、偏航角信息的同时，敏感于被测物滚转角变化，从而使仪器装置具有对被测物三维角度变化的探测能力；由于本发明利用准直物镜组极大提高物镜焦距，因此具有在相同测量量程下，角度极限分辨力达到纳弧度量级的技术优势；利用凸透镜以及多狭缝光阑，同时利用四象限位置探测器与透射式空间光调制器进行漂移量反馈，提高系统稳定性至十纳弧度量级，从而解决光束漂移量限制自准直仪极限分辨力的问题。此外，本发明所设计的系统装置具有结构体积小、测量精度高、测量频响高的技术优势。