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公开(公告)号：CN103900469A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118923.7
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、由入射光纤、出射光纤、耦合球组成探针、偏振态检测装置和计算机，激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、探针依次排列，其中激光器出射光光轴与入射光纤入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于出射光纤的出射光经半透半反棱镜反射后的反射光路光轴上，偏振态检测装置B位于激光器出射的光束经起偏器后第一次经半透半反棱镜反射的反射光路光轴上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快、具有三维测量能力。
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公开(公告)号：CN102589439A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110456051.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成，温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内，本发明实现了三维传感，大幅度提高了传感器对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102519370A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110438936.9
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；支撑底座上装配两个支撑架，支撑架上装配横梁，支撑底座的凹槽内装配Z向运动部件，Z向测长装置装配在Z向运动部件的侧面，工作台固定在Z向运动部件的上方，Y向测长装置装配在工作台的内部，测量传感器固定吊挂在横梁的中间位置上，X向测长装置位于支撑底座的左侧位置，其平面反射镜固定装配在测量传感器的左侧，通过数据线依次将测量传感器、X、Y、Z向测长装置与计算机相连，该方法将工作台在指定测量方向的垂直方向上不断移动，反复测量得到的两触测点间的距离的最大值即为被测微孔直径，本发明具有传感零耦合、能进行方向探测、测力小等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102589439B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201110456051.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成，温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内，本发明实现了三维传感，大幅度提高了传感器对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102564309B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110456011.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102589422A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110456022.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102589422B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201110456022.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN103900466A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118360.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；传感器包括偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针、偏振态检测装置、温度补偿装置、计算机，其中偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针依次排列，偏振光发生装置的出射光光轴与测量探针的入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于测量探针的出射光经半透半反棱镜后的反射光路光轴A上，偏振态检测装置B位于参考探针的出射光经反射镜B反射后的反射光路光轴B上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，测量探针与待测微孔发生触测；本传感器具有温度补偿功能、精度高、速度快。
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