磁控管阴极组件用焊料环的配方及其制造方法

    公开(公告)号:CN101396772A

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200810071610.5

    申请日:2008-08-15

    发明人: 石涛

    IPC分类号: B23K35/22 B22F3/16

    摘要: 本发明提供一种磁控管阴极组件用焊料环的配方及其制造方法,属于粉末冶金制造领域。本发明的配方中含有经过选择的金属粉末体系和成形剂体系。所述配方中金属粉末占98.0~99.5wt%,成形剂有效成分占0.5~2wt%。本发明的制造方法包括粉末制备,模压成形,烧结等步骤。其特点是粉末采用铁、钼、镍体系,成形剂采用聚乙二醇的水溶液,成形采用模压,烧结在钼丝炉中进行。具体步骤是将铁粉、钼粉、镍粉按重量比(20~30)∶(40~70)∶(10~30)混合,球磨后得到混合粉末,将成形剂体系加入混合粉末搅拌均匀,真空干燥后过筛,然后进行制粒。所得粉末模压成形后,在1300℃~1450℃的氢气气氛中烧结30~60分钟。用本发明的配方及制造方法生产出的产品适用于磁控管阴极组件中磁控线圈和钼端帽的焊接。

    半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN102211188B

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201110149666.X

    申请日:2011-06-03

    IPC分类号: B22F3/14 C23C14/34 C23C14/14

    摘要: 本发明公开了一种半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法,是采用了氢化钛代替传统的部分纯钛,并将钨粉、钛粉和氢化钛粉按一定的质量比置于三维混料器中,在一定的转速条件下混合得到钨钛合金粉末,而后把填充好钨钛合金粉末的模具放入真空热压烧结炉内进行烧结处理来得到真空热压烧结毛坯,在对真空热压烧结毛坯进行尺寸切割后,再把真空热压烧结毛坯置于真空退火炉内进行退火处理,最后,使用超声波清洗机清洗靶材表面,由此得到成分和密度完全符合要求的钨钛合金靶。该制备方法具有粉末混合均匀,制备过程中不易氧化,杂质含量低,制备出的钨钛合金靶密度高的特点。

    一种用于自动成形的特殊钼粉及其制备方法

    公开(公告)号:CN101786160B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201010300744.7

    申请日:2010-01-26

    IPC分类号: B22F1/00 B22F9/04

    摘要: 本发明公开了一种可以直接应用于机械、电子行业精密器件自动成形的特殊钼粉,其特征是该钼粉中的组成为:质量份数为96.6~99.5的原料钼粉,质量份数为0.5~2.4的聚乙烯醇,质量份数为0~0.4的聚乙二醇,质量份数为0~0.5的硬脂酸金属盐,质量份数为0~0.15的聚丙烯酸铵。该钼粉的流动性好、松装密度高、粒度分布适当,并且在自动成形过程中具有自润滑作用。本发明还公开了其制备方法,其制备过程为:(1)配制聚乙烯醇、聚乙二醇、水和其他添加剂的成形剂溶液;(2)将原料钼粉、金属球与上述成形剂溶液按比例在球磨罐中进行湿磨配制成钼粉料浆;(3)将配制的钼粉料浆进行喷雾干燥制粒;(4)将制得的钼粉通过喷雾干燥塔出料口振动筛进行收集。该制备方法的最大优点在于可以一步制备该自动成形用特殊钼粉,效率高成本低,并且工业化无污染。

    一种钨坩埚冷等静压压制成型的模具

    公开(公告)号:CN204220989U

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201420635784.0

    申请日:2014-10-29

    IPC分类号: B22F3/03

    摘要: 本实用新型公开了一种钨坩埚冷等静压压制成型的模具,包括芯模、套在芯模外的软模、设置在软模顶部的上盖,以及用来捆紧软模顶部和底部的捆紧件;还包括一硬膜,该硬膜呈中空且上下贯通的筒状体,该硬膜套装于所述软模外,以限制所述软模向外形变。本实用新型通过设置硬膜,利用硬膜护住软模,使软模在装入钨粉过程中中不会向外扩张形变,因而本实用新型加工结束后便于脱模,且所生产出来的钨坩埚毛坯尺寸均匀、内壁光洁、无崩口、无裂纹,可以达到后续加工要求,生产效率高。