晶粒大小可控的多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN100409379C

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN200610013055.1

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明属于一种晶粒大小可控的多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法,它是在基片上形成多晶Fe3O4薄膜,Fe3O4晶粒粒径为19~42纳米,薄膜的室温磁电阻数值11~12%。本发明是采用直流磁控溅射技术,先在氩气和氧气的混合气氛中溅射成膜,然后通过对退火温度和退火时间的连续控制而制备的,所用基片材料为玻璃、石英、单晶硅、单晶砷化镓等,溅射时基片不加热。本发明制备得到的多晶Fe3O4薄膜材料与目前所存的同类材料相比,其晶粒大小可以连续控制,并且具有较高的室温磁电阻数值,制备工艺简单,适用于多种基片等优点。

    纳米晶铁锗颗粒薄膜磁敏材料的制备方法

    公开(公告)号:CN100387751C

    公开(公告)日:2008-05-14

    申请号:CN200510122237.8

    申请日:2005-12-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明涉及纳米晶铁锗颗粒薄膜磁敏材料的制备方法。该磁敏材料的通式为FexGe1-x,其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比,0.45<x<0.60,薄膜厚度在4~8纳米。先将高纯度的氩气通入真空室,然后将超高真空闸板阀的开启度降为20%。锗靶上加15瓦的射频功率,在铁靶上加以5~15瓦的直流功率,预溅射20分钟左右。基片以20转/分钟的速率均匀旋转。本发明制备的铁锗颗粒薄膜材料为纳米晶结构,霍尔电阻灵敏度在-250℃到+200℃的温度范围内达到125VA/T,并且具有小的热漂移、零磁场偏移。本发明的材料制备简单,成本低,因而在航空、航天、军事等领域具有广阔的应用前景。

    复合腔单纵模掺铒光纤激光器

    公开(公告)号:CN2711951Y

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN200420029281.5

    申请日:2004-07-05

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种光纤激光器,特别是具有复合腔的单纵模掺铒激光器,属激光技术领域。主要由三部分构成:主谐振腔部分、外腔反馈部分和信号光的放大输出部分。采用紧凑型半导体激光器作泵浦源,在几个厘米长的高掺铒光纤两端熔接光纤Bragg光栅对儿构成主腔,一段带有另一个光纤Bragg光栅的单模传光光纤与主腔熔接构成外腔,外腔的光纤光栅对信号光产生反馈并选取单纵模。最后,剩余泵浦光继续泵浦一段低掺铒光纤,对信号进行放大,放大后的激光经单向导光器从低掺铒纤的另一端输出。该结构制作工艺简单,性价比高,可以实现稳定、无跳模的单纵模激光运转。可广泛用于高速光通信、高密集波分复用、相干检测系统及相位型光纤传感系统及光谱学等领域中。

Patent Agency Ranking