公开(公告)号：CN110927240A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201911159030.6

申请日：2019-11-22

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 张益军 ,  戴庆鑫 ,  钱芸生 ,  张锴珉 ,  张景智 ,  舒昭鑫 ,  荣敏敏 ,  程宏昌 ,  拜晓锋

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/26

Abstract: 本发明公开了一种超高真空系统的高纯NF3进气控制装置及方法。该装置包括一级减压阀、二级减压阀、球阀、可调节微量进气阀、三通、涡轮分子泵角阀、四极质谱仪、真空规、超高真空激活室、钛升华泵、溅射离子泵、涡轮分子泵和机械泵。方法为：首先关闭微量进气阀，打开一级减压阀、二级减压阀和球阀，使管道充满NF3气体；然后关闭球阀，打开涡轮分子泵角阀，对进气管道中的残气进行抽取；接着关闭角阀，打开球阀，用NF3对进气管道进行冲洗；最后通过可调节微量进气阀控制进入超高真空系统的NF3气体，利用四极质谱仪和真空规分别检测NF3的分压强和系统真空度。本发明能够清除进气管道内残余空气，并对NF3进气量进行微量精确控制。

公开(公告)号：CN110813902A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201910838128.8

申请日：2019-09-05

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 张益军 ,  荣敏敏 ,  方城伟 ,  张锴珉 ,  舒昭鑫 ,  张景智 ,  戴庆鑫 ,  王自衡

IPC: B08B3/12 ,  B08B3/08 ,  B08B7/00 ,  F26B3/02 ,  F26B21/14 ,  A61L2/20 ,  A61L101/10

Abstract: 本发明公开了一种砷化镓光电阴极的清洗方法，包括采用有机溶剂超声波清洗，去除阴极表面油脂；采用去离子水超声波清洗；干燥阴极表面；采用紫外臭氧清洗；采用氢氟酸刻蚀，去除阴极表面氧化物；去离子水冲洗阴极表面残留的酸；干燥阴极表面。本发明避免了强酸强碱等高危害性溶剂的使用，可有效去除砷化镓表面污染物，得到清洁效果好、量子效率高的砷化镓光电阴极。