一种梯形活塞环梯形角的分段式测量系统及方法

    公开(公告)号:CN118328907B

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410766217.7

    申请日:2024-06-14

    Abstract: 本发明公开了一种梯形活塞环梯形角的分段式测量系统及方法,包括以下步骤:通过上光谱共焦位移传感器、下光谱共焦位移传感器、水平方向光栅位移传感器上上轮廓的测量坐标点序列,进而得到上下轮廓斜率序列,通过轮廓斜率变化阈值,进而确定为0斜率与第一个轮廓斜率超出轮廓斜率变化阈值的斜率的斜率个数,选择一半此斜率个数的斜率均在轮廓斜率变化阈值内的连续点作为上轮廓斜率均值取值点;并确定轮廓斜率均值取值点的第一个斜率位置,建立轮廓斜率均值模型,得到上下轮廓斜率均值;然后建立梯形活塞环梯形角模型,得到梯形活塞环梯形角。本发明梯形活塞环梯形角测量精度高。

    双视场双分辨率融合型广角光学系统及设计方法和装置

    公开(公告)号:CN118068564A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410482158.0

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种双视场双分辨率融合型广角光学系统及设计方法和装置,包括成像接收器、广角镜头,所述成像接收器用于接收广角镜头光线并成像,首先确定设计目标,划分视场区域;根据视场区域建立光学系统随视场变化的局部焦距分布函数和局部F数分布函数;追迹计算采样视场的局部焦距和局部F数;优化控制局部焦距和局部F数,一并控制渐变视场区域优化控制系统像差;优化迭代,确定广角镜头的局部焦距与局部F数,直至满足双视场双分辨率广角光学系统的设计目标。本发明不仅具有成像调控灵活、直接和精准,而且能够适应不同场景的观测需求。

    机器人驱控关键性能测试平台

    公开(公告)号:CN119217433B

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202411755286.4

    申请日:2024-12-03

    Abstract: 本发明涉及测量测试技术领域,尤其是一种机器人驱控关键性能测试平台,包括测试台,测试台的上方固定安装有手动调整组件以及被动调整组件,手动调整组件与被动调整组件垂直,手动调整组件上安装有机器人活动臂A,被动调整组件上安装有机器人活动臂B。本发明通过设置被动调整组件、机器人活动臂A以及机器人活动臂B,测试可以测定活动关节的抗压、抗负载能力,将电推杆通电,使得整个关节运转,可以测定出电推杆受到反作用力曲线,能够得出负载对关节的影响,而且根据滑台B的移动量,可以测试运转精度,也可以在无人的时候长时间测试,用于判断机器人的可靠性。

    机器人驱控关键性能测试平台

    公开(公告)号:CN119217433A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202411755286.4

    申请日:2024-12-03

    Abstract: 本发明涉及测量测试技术领域,尤其是一种机器人驱控关键性能测试平台,包括测试台,测试台的上方固定安装有手动调整组件以及被动调整组件,手动调整组件与被动调整组件垂直,手动调整组件上安装有机器人活动臂A,被动调整组件上安装有机器人活动臂B。本发明通过设置被动调整组件、机器人活动臂A以及机器人活动臂B,测试可以测定活动关节的抗压、抗负载能力,将电推杆通电,使得整个关节运转,可以测定出电推杆受到反作用力曲线,能够得出负载对关节的影响,而且根据滑台B的移动量,可以测试运转精度,也可以在无人的时候长时间测试,用于判断机器人的可靠性。

    一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置

    公开(公告)号:CN221037285U

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202420516650.0

    申请日:2024-03-18

    Abstract: 本实用新型属于晶圆面型干涉检测的技术领域,具体地说是一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置,包括刻蚀有映射校准关系的校准槽的透明亚克力板、晶圆测量干涉仪,通过两台晶圆测量干涉仪分别对校准槽结构进行成像,获得每台干涉仪各自的成像畸变;通过分析两台晶圆测量干涉仪之间的空间位置关系和各自的成像畸变,获得两台晶圆测量干涉仪测得的面形数据之间的映射关系,实现映射校准。本实用新型不仅能够实现对双面抛光晶圆测量干涉系统的检验与校准,而且消除了映射误差对晶圆形貌参数的影响,同时能够高精度的一次性获得晶圆的全表面形貌和相关参数信息。

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